vet-china представляет инновационную лодочку и пьедестал с вертикальной колонной, комплексное решение для передовой обработки полупроводников. Разработанная с высочайшей точностью, эта система перемещения пластин обеспечивает непревзойденную стабильность и выравнивание, что крайне важно для высокоэффективных производственных сред.
Вафельная лодочка и постамент с вертикальной колонной изготовлены из материалов премиум-класса, которые гарантируют термическую стабильность и устойчивость к химической коррозии, что делает ее подходящей для самых требовательных процессов производства полупроводников. Его уникальная конструкция с вертикальной колонной надежно удерживает пластины, снижая риск смещения и потенциального повреждения во время транспортировки и обработки.
Благодаря интеграции вертикальной колонны вафельной лодки и пьедестала от vet-china производители полупроводников могут рассчитывать на повышение производительности, минимизацию времени простоя и увеличение выхода продукции. Эта система совместима с пластинами различных размеров и конфигураций, обеспечивая гибкость и масштабируемость для различных производственных потребностей.
Стремление vet-china к совершенству гарантирует, что каждая вафельная лодка и постамент с вертикальной колонной соответствуют самым высоким стандартам качества и производительности. Выбирая это передовое решение, вы инвестируете в перспективный подход к работе с пластинами, который максимизирует эффективность и надежность в производстве полупроводников.
Свойства рекристаллизованного карбида кремния
Рекристаллизованный карбид кремния (R-SiC) — высокоэффективный материал, твердость которого уступает только алмазу, который образуется при высокой температуре выше 2000 ℃. Он сохраняет многие превосходные свойства SiC, такие как устойчивость к высоким температурам, сильная коррозионная стойкость, отличная стойкость к окислению, хорошая стойкость к термическому удару и так далее.
● Отличные механические свойства. Рекристаллизованный карбид кремния имеет более высокую прочность и жесткость, чем углеродное волокно, высокую ударопрочность, может хорошо работать в условиях экстремальных температур, может показывать лучшие характеристики противовеса в различных ситуациях. Кроме того, он также обладает хорошей гибкостью и его нелегко повредить при растяжении и изгибе, что значительно улучшает его характеристики.
● Высокая коррозионная стойкость. Рекристаллизованный карбид кремния обладает высокой коррозионной стойкостью к различным средам, может предотвращать эрозию различных агрессивных сред, сохранять свои механические свойства в течение длительного времени, обладает сильной адгезией, что обеспечивает более длительный срок службы. Кроме того, он также обладает хорошей термической стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону изменений температуры, улучшая эффект от применения.
● Спекание не дает усадки. Поскольку процесс спекания не дает усадки, никакое остаточное напряжение не приведет к деформации или растрескиванию изделия, и можно изготавливать детали сложной формы и высокой точности.
| 重结晶碳 и 硅物理特性 Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
| 性质 / Свойство | 典型数值 / Типичное значение |
| 使用温度/ Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
| Карбид кремния含量/ Содержание карбида кремния | > 99,96% |
| 自由Си含量/ Бесплатный контент Si | < 0,1% |
| 体积密度/Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
| 气孔率/ Кажущаяся пористость | < 16% |
| 抗压强度/ Прочность на сжатие | > 600МПа |
| 常温抗弯强度/Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
| 高温抗弯强度Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
| 热膨胀系数/ Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
| 导热系数/Теплопроводность при 1200°C | 23Вт/м•К |
| 杨氏模量/ Модуль упругости | 240 ГПа |
| 抗热震性/ Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
ПОО Энергия тотнастоящий производитель индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с CVD-покрытием,может предоставитьразличныйиндивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и может предоставить более профессиональные решения по материалам.для тебя.
Мы постоянно разрабатываем передовые процессы, чтобы предоставлять более совершенные материалы,иразработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать соединение покрытия с подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.
| ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие | |
| 性质 / Свойство | 典型数值 / Типичное значение |
| 晶体结构 / Кристаллическая структура | FCC β-фаза多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / Плотность | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Твердость | 2500 维氏硬度 (загрузка 500 г) |
| 晶粒大小 / Размер зерна | 2~10 мкм |
| 纯度 / Химическая чистота | 99,99995% |
| 热容 / Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Температура сублимации | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Прочность на изгиб | 415 МПа РТ 4-точечный |
| 杨氏模量 / Модуль Юнга | Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ТермалПроводимость | 300 Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!
