Производитель графитовых крышек с покрытием TaC

Краткое описание:

Semicera является лидером полупроводниковой промышленности, предлагая линейку продуктов из карбида тантала (TaC), отвечающую все более строгим требованиям.С появлением 8-дюймовых пластин карбида кремния (SiC) температурные требования для различных полупроводниковых процессов стали более строгими, особенно для эпитаксиального процесса, температура которого может достигать более 2000 градусов Цельсия.Традиционные базовые материалы, такие как графит, покрытый карбидом кремния, имеют тенденцию сублимироваться при высоких температурах и разрушать эпитаксиальный процесс.Карбид тантала CvD (TaC) обеспечивает эффективное решение этой проблемы, способный выдерживать температуры до 2300 градусов Цельсия и обеспечивая более длительный срок службы.Приглашаем вас связаться с Semicera, чтобы узнать о наших накладках с покрытием из карбида тантала и узнать больше о наших передовых решениях.Наши продукты обеспечат превосходную защиту вашего эпитаксиального процесса, температурную стабильность и длительный срок службы, тем самым повышая эффективность процесса, снижая затраты и помогая вам добиться большего успеха.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Информация о продукте

Теги продукта

Покрытие TaC представляет собой разновидность покрытия из карбида тантала (TaC), полученного методом физического осаждения из паровой фазы, и имеет следующие характеристики:

1. Высокая твердость: твердость покрытия TaC высокая, обычно может достигать 2500-3000HV, является отличным твердым покрытием.

2. Износостойкость: покрытие TaC очень износостойкое, что позволяет эффективно снизить износ и повреждение механических деталей во время использования.

3. Хорошая устойчивость к высоким температурам: покрытие TaC также может сохранять свои отличные характеристики в условиях высоких температур.

4. Хорошая химическая стабильность: покрытие TaC обладает хорошей химической стабильностью и может противостоять многим химическим реакциям, таким как кислоты и основания.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Физические свойства ТаС покрытие
密度/ Плотность	14,3 (г/см³)
比辐射率 / Удельная излучательная способность	0,3
热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Твердость (ГК)	2000 Гонконг
电阻 / Сопротивление	1×10^-5 Ом*см
热稳定性 / Термическая стабильность	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Изменение размера графита	-10~-20ум
涂层厚度 / Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, материалов и технологий, включая графит, карбид кремния, керамику, обработку поверхности и так далее.Продукция широко используется в фотоэлектрической, полупроводниковой, новой энергетике, металлургии и т. д.

Наша техническая команда из ведущих отечественных исследовательских институтов может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!