Графитовый носитель / токоприемник с покрытием SiC

Краткое описание:

Графитовый носитель/токоприемник VET Energy с SiC-покрытием — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени.Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

 


Информация о продукте

Теги продукта

Сускетпор с покрытием из SiC является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников.Мы используем нашу запатентованную технологию для производства сускетпора с покрытием SiC, обладающего чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термостабильностью.

Особенности нашей продукции:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700 ℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность.
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.

перевозчик2 перевозчик4

перевозчик1 перевозчик3

 

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 / Кристальная структура

FCC β-фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твердость

2500 фунтов стерлингов (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2~10 мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Предел прочности при изгибе

415 МПа РТ 4-точечный

杨氏模量 / Модуль для младших

Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)

4,5×10-6K-1

1

2

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!