Графитовый носитель / токоприемник с покрытием SiC

Краткое описание:

Графитовый носитель/токоприемник VET Energy с SiC-покрытием — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

Сускетпор с покрытием из SiC является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников. Мы используем нашу запатентованную технологию для производства сускетпора с покрытием SiC, обладающего чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термостабильностью.

Особенности нашей продукции:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700 ℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность.
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β-фаза多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа РТ 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1