Карбид кремния (SiC) — новый сложный полупроводниковый материал. Карбид кремния имеет большую ширину запрещенной зоны (примерно в 3 раза больше кремния), высокую критическую напряженность поля (примерно в 10 раз больше кремния), высокую теплопроводность (примерно в 3 раза больше кремния). Это важный полупроводниковый материал нового поколения. Покрытия SiC широко используются в полупроводниковой промышленности и солнечной фотоэлектрической технике. В частности, суцепторы, используемые при эпитаксиальном выращивании светодиодов и эпитаксии монокристаллов Si, требуют использования покрытия SiC. В связи с сильной тенденцией к росту использования светодиодов в индустрии освещения и дисплеев, а также бурным развитием полупроводниковой промышленности,Продукт покрытия SiCперспективы очень хорошие.
ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
Чистота, структура SEM, анализ толщиныSiC-покрытие
Чистота SiC-покрытий на графите, полученных методом CVD, достигает 99,9995%. Его структура FCC. Пленки SiC, нанесенные на графит, имеют ориентацию (111), как показано в данных РФА (рис. 1), что указывает на их высокое кристаллическое качество. Толщина пленки SiC очень однородна, как показано на рис. 2.
Рис. 2: Равномерность толщины пленок SiC, СЭМ и рентгеноструктурный анализ пленки бета-SiC на графите.
Данные СЭМ тонкой пленки CVD SiC, размер кристалла 2 ~ 1 Opm.
Кристаллическая структура пленки CVD SiC представляет собой гранецентрированную кубическую структуру, а ориентация роста пленки близка к 100%.
Покрытие из карбида кремния (SiC)База является лучшей основой для эпитаксии монокристаллического кремния и GaN, которая является основным компонентом печи для эпитаксии. База является ключевым элементом производства монокристаллического кремния для больших интегральных схем. Он обладает высокой чистотой, устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, хорошей воздухонепроницаемостью и другими превосходными характеристиками материала.
Применение и использование продукта
Графитовое базовое покрытие для эпитаксиального выращивания монокристаллического кремния. Подходит для машин Aixtron и т. д. Толщина покрытия: 90 ~ 150 мкм. Диаметр кратера пластины составляет 55 мм.
Время публикации: 14 марта 2022 г.