Piesă semilună din grafit acoperit cu SiC pentru echipamente epitaxiale cu carbură de siliciu

Scurtă descriere:

Introducerea și utilizarea produsului: tub de cuarț conectat, poate trece gaz pentru a conduce rotația bazei tăvii, controlul temperaturii

Amplasarea dispozitivului a produsului: în camera de reacție, nu în contact direct cu napolitana

Principalele produse din aval: dispozitive de alimentare

Piața principală a terminalelor: vehicule cu energie nouă

 


Detaliu produs

Etichete de produs

Partea semilună din grafit acoperit cu SiCis a cheiecomponentă utilizată în procesele de fabricație a semiconductorilor, în special pentru echipamentele epitaxiale SiC.Folosim tehnologia noastră patentată pentru a face parte cu semilunăpuritate extrem de ridicată,bunacoperireuniformitateși o durată de viață excelentă, precum șirezistență chimică ridicată și proprietăți de stabilitate termică.

VET Energia este celproducător real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu acoperire CVD,poate furnizadiversepiese personalizate pentru industria semiconductoare și fotovoltaică. OEchipa tehnică provine de la instituții de cercetare naționale de top, poate oferi soluții materiale mai profesionalePentru dumneavoastră.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale mai avansate,şiau elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face legătura dintre acoperire și substrat mai strânsă și mai puțin predispusă la detașare.

FCaracteristicile produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate până la 1700.
2. Puritate ridicată șiuniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCacoperire

性质 / Proprietate

典型数值 / Valoare tipică

晶体结构 / Structura de cristal

faza β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitatea

3,21 g/cm³

硬度 / Duritate

2500 维氏硬度(încărcare 500g)

晶粒大小 / Dimensiunea boabelor

2~10μm

纯度 / Puritatea chimică

99,99995%

热容 / Capacitatea termică

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de sublimare

2700℃

抗弯强度 / Rezistența la încovoiere

415 MPa RT în 4 puncte

杨氏模量 / Modulul tinerilor

430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivitate

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Vă urăm călduros să vizitați fabrica noastră, să avem discuții suplimentare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Anterior:
  • Următorul:

  • Chat online WhatsApp!