Suceptor cu plăci acoperite cu CVD TaC

Scurtă descriere:

Suceptorul cu plăci acoperite cu VET Energy CVD TaC este un produs de înaltă performanță conceput pentru a oferi performanțe consistente și fiabile pe o perioadă lungă de timp. Are o rezistență foarte bună la căldură și uniformitate termică, puritate ridicată, rezistență la eroziune, făcându-l soluția perfectă pentru aplicațiile de prelucrare a plachetelor.


Detaliu produs

Etichete de produs

TheAcoperit cu CVD TaCPlate Susceptor de la vet-china este proiectat pentru înaltă performanță în procesele de depunere chimică în vapori (CVD). Acest susceptor are un robustAcoperire TaC (Carbură de Tantal)., oferind stabilitate termică excepțională, rezistență chimică și durabilitate, făcându-l o soluție ideală pentru fabricarea semiconductorilor și aplicațiile la temperatură înaltă. TheAcoperire CVD TaCasigură o rezistență excelentă la oxidare și uzură, permițând susceptorului să-și mențină integritatea și funcționarea în medii dure.

vet-china'sAcoperit cu CVD TaCPlate Susceptor se remarcă prin capacitatea sa de a distribui uniform căldura în timpul proceselor CVD, asigurând depunerea precisă a stratului și sporind eficiența fabricării semiconductoarelor. Acoperirea Ta-C oferă protecție suplimentară împotriva coroziunii chimice, prelungind durata de viață a susceptorului și îmbunătățind performanța generală. Cu o combinație de tehnologie avansată de susceptor CVD și acoperiri chimice TaC de înaltă calitate, acest susceptor este o componentă cheie pentru industriile care necesită precizie și fiabilitate în medii cu temperaturi ridicate.

Indiferent dacă este utilizat în producția de semiconductori sau în alte aplicații de înaltă tehnologie,Susceptor cu plăci acoperite cu TaC CVDeste conceput pentru a satisface cerințele producției moderne. Susținut de reputația Semicera pentru inovație și calitate, acest produs oferă performanțe superioare și durabilitate de lungă durată, făcându-l o alegere de încredere pentru procesele CVD.

Acoperirea TaC este un fel de acoperire cu carbură de tantal (TaC) preparată prin tehnologia de depunere fizică în vapori, are următoarele caracteristici:

1. Duritate ridicată: duritatea acoperirii TaC este mare, de obicei poate ajunge la 2500-3000HV, este un strat dur excelent.

2. Rezistență la uzură: acoperirea TaC este foarte rezistentă la uzură, ceea ce poate reduce eficient uzura și deteriorarea pieselor mecanice în timpul utilizării.

3. Rezistență bună la temperaturi ridicate: acoperirea TaC își poate menține, de asemenea, performanța excelentă în mediul cu temperaturi ridicate.

4. Stabilitate chimică bună: acoperirea TaC are o stabilitate chimică bună și poate rezista multor reacții chimice, cum ar fi acizii și bazele.

Acoperire TaC13
Acoperire TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Proprietățile fizice ale TaC acoperire

密度/ Densitatea

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisivitate specifică

0,3

热膨胀系数 / Coeficientul de dilatare termică

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Duritate (HK)

2000 HK

电阻 / Rezistenta

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Stabilitate termică

<2500℃

石墨尺寸变化 / Dimensiunea grafitului se modifică

-10~-20um

涂层厚度 / Grosimea stratului

≥20um valoare tipică (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd este o întreprindere de înaltă tehnologie care se concentrează pe producția și vânzarea de materiale avansate de ultimă generație, materiale și tehnologie care acoperă grafit, carbură de siliciu, ceramică, tratarea suprafețelor și așa mai departe. Produsele sunt utilizate pe scară largă în fotovoltaic, semiconductor, energie nouă, metalurgie, etc.

Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare naționale de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.

Vă urăm călduros să vizitați fabrica noastră, să avem discuții suplimentare!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Anterior:
  • Următorul:

  • Chat online WhatsApp!