Susceptor de butoi acoperit cu SiC

Scurtă descriere:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor este un produs de înaltă performanță conceput pentru a oferi performanțe consistente și fiabile pe o perioadă lungă de timp. Are o rezistență foarte bună la căldură și uniformitate termică, puritate ridicată, rezistență la eroziune, făcându-l soluția perfectă pentru aplicațiile de prelucrare a plachetelor.

Locul de origine:China

Structura de cristal:faza FCCβ

Densitate:3,21 g/cm;

Duritate:2500 Vickers;

Dimensiunea boabelor:2~10μm;

Puritatea chimică:99,99995%;

Capacitate termica:640J·kg-1·K-1;

Temperatura de sublimare:2700℃;

Forța felexurală:415 Mpa (RT în 4 puncte);

Modulul Young:430 Gpa (îndoire 4pt, 1300℃);

Expansiune termică (CTE):4,5 10-6K-1;

Conductivitate termică:300（W/MK）;

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliu produs

Etichete de produs

Susceptor de butoi is a cheiecomponentă utilizată în diferite procese de fabricație a semiconductorilor.Folosim tehnologia noastră patentată pentru a facesusceptor de butoicupuritate extrem de ridicată,bunacoperireuniformitateși o durată de viață excelentă, precum șirezistență chimică ridicată și proprietăți de stabilitate termică.

Energia VET este celproducător real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu acoperire CVD,poate furnizadiversepiese personalizate pentru industria semiconductoare și fotovoltaică. OEchipa tehnică provine de la instituții de cercetare naționale de top, poate oferi soluții materiale mai profesionalePentru dumneavoastră.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale mai avansate,şiau elaborat o tehnologie exclusivă patentată, care poate face legătura dintre acoperire și substrat mai strânsă și mai puțin predispusă la detașare.

FCaracteristicile produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate până la 1700℃.
2. Puritate ridicată șiuniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCacoperire
性质 / Proprietate	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura de cristal	faza β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitatea	3,21 g/cm³
硬度 / Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 / Dimensiunea boabelor	2~10μm
纯度 / Puritatea chimică	99,99995%
热容 / Capacitatea termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 / Modulul tinerilor	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1