Susceptor din grafit acoperit cu carbură de siliciu pentru gravarea cu LED

Scurtă descriere:

Suceptor din carbură de siliciu pentru gravarea cu LED (tavă SiC) este un accesoriu special pentru gravarea adâncă a siliciului (mașină de gravare ICP). purtător de napolitană, cunoscut și sub numele de purtător de napolitană, purtător de napolitană de siliciu, cunoscut și sub denumirea de napolitană de buzunar. Utilizat pe scară largă în CVD semiconductor și pulverizare în vid.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliu produs

Etichete de produs

Susceptor acoperit cu carbură de siliciu estea cheiecomponentă utilizată în diferite procese de fabricație a semiconductorilor.Folosim tehnologia noastră brevetată pentru a face susceptorul acoperit cu carbură de siliciupuritate extrem de ridicată,bunacoperireuniformitateși o durată de viață excelentă, precum șirezistență chimică ridicată și proprietăți de stabilitate termică.

VET Energia este celproducător real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu acoperire CVD,poate furnizadiversepiese personalizate pentru industria semiconductoare și fotovoltaică. OEchipa tehnică provine de la instituții de cercetare naționale de top, poate oferi soluții materiale mai profesionalePentru dumneavoastră.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale mai avansate,şiau elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face legătura dintre acoperire și substrat mai strânsă și mai puțin predispusă la detașare.

FCaracteristicile produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate până la 1700℃.
2. Puritate ridicată șiuniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCacoperire
性质 / Proprietate	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura de cristal	faza β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitatea	3,21 g/cm³
硬度 / Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 / Dimensiunea boabelor	2~10μm
纯度 / Puritatea chimică	99,99995%
热容 / Capacitatea termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 / Modulul tinerilor	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1