Barco de wafer de carboneto de silício recristalizado de tamanho grande

Breve descrição:

O barco wafer de carboneto de silício recristalizado VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.


Detalhes do produto

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O barco wafer de carboneto de silício é um dispositivo de suporte de carga para wafers, usado principalmente em processos de difusão solar e de semicondutores. Possui características como resistência ao desgaste, resistência à corrosão, resistência ao impacto em altas temperaturas, resistência ao bombardeio de plasma, capacidade de suporte a altas temperaturas, alta condutividade térmica, alta dissipação de calor e uso a longo prazo que não é fácil de dobrar e deformar. Nossa empresa usa material de carboneto de silício de alta pureza para garantir a vida útil e fornece projetos personalizados, incluindo vários barcos wafer verticais e horizontais.

Folha de dados de materiais

材料Material R-SiC
使用温度Temperatura de trabalho (°C) 1600°C ( 氧化气氛Ambiente oxidante)1700°C ( 还原气氛Ambiente redutor)
Conteúdo de SiC (%) > 99
自由Si 含量Conteúdo gratuito de Si (%) <0,1
体积密度Densidade aparente (g/cm3) 2,60-2,70
气孔率Porosidade aparente (%) <16
抗压强度Resistência ao esmagamento (MPa) > 600
常温抗弯强度Resistência à flexão a frio (MPa) 80-90 (20°C)
高温抗弯强度Resistência à flexão a quente (MPa) 90-100 (1400°C)
热膨胀系数Coeficiente de expansão térmica @1500°C (10-6/°C) 4,70
导热系数Condutividade térmica @1200°C (W/m•K) 23
杨氏模量Módulo elástico (GPa) 240
抗热震性Resistência ao choque térmico 很好Extremamente bom

 

barco de wafer

Tecnologia energética Co. do veterinário de Ningbo, Ltdé uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologiaincluindografite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais, pode fornecer soluções de materiais mais profissionaispara você.

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