Anéis de segmento de grafite com revestimento de carboneto de tântalo

Pequena descrição:

A popularidade dos wafers de carboneto de silício (SiC) de 8 polegadas tornou os requisitos de temperatura dos processos de semicondutores mais rigorosos.No entanto, os materiais de base tradicionais não resistem ao teste de ambientes de alta temperatura e são propensos à sublimação e danos ao processo epitaxial.Felizmente, os produtos CvD de carboneto de tântalo (TaC) da Semicera fornecem uma solução confiável.Nosso carboneto de tântalo (TaC) tem excelente resistência a altas temperaturas, pode suportar temperaturas extremas de até 2.300 graus Celsius e proporcionar uma vida útil mais longa.Entre em contato com a Semicera hoje mesmo para saber mais sobre nossas soluções avançadas, incluindo opções personalizadas para placas de cobertura revestidas com carboneto de tântalo.

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O revestimento TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, possui as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, geralmente pode chegar a 2500-3000HV, é um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode efetivamente reduzir o desgaste e danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: O revestimento TaC também pode manter seu excelente desempenho em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento TaC tem boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriedades físicas de TaC Revestimento
密度/ Densidade	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissividade específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
电阻 / Resistência	1x10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilidade térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologia que abrangem grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante.Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

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