Susceptor de barril para epitaxia de fase líquida LPE

Susceptor de barril para epitaxia em fase líquida LPE

EPI (epitaxia)é um processo crítico na fabricação de semicondutores avançados. Envolve a deposição de finas camadas de material em um substrato para criar estruturas de dispositivos complexos. O susceptor de barril de grafite revestido com SiC para EPI é comumente usado como susceptor em reatores EPI devido à sua excelente condutividade térmica e resistência a altas temperaturas. ComRevestimento CVD-SiC, torna-se mais resistente à contaminação, erosão e choque térmico. Isso resulta em uma vida útil mais longa para o susceptor e em melhor qualidade do filme.

Vantagens do nosso susceptor de barril para epitaxia LPE em fase líquida:
Contaminação reduzida:A natureza inerte do SiC evita que impurezas adiram à superfície do susceptor, reduzindo o risco de contaminação dos filmes depositados.
Maior resistência à erosão:O SiC é significativamente mais resistente à erosão do que o grafite convencional, levando a uma vida útil mais longa do susceptor.
Estabilidade térmica melhorada:O SiC possui excelente condutividade térmica e pode suportar altas temperaturas sem distorção significativa.
Qualidade de filme aprimorada:A estabilidade térmica melhorada e a contaminação reduzida resultam em filmes depositados de maior qualidade com melhor uniformidade e controle de espessura.