Jaka jest funkcja łodzi grafitowej PECVD?

Jako nośnik normalnych płytek krzemowych w procesie powlekania, tzwgrafitowa łódkama wiele płytek łódkowych o pewnym odstępie w strukturze i pomiędzy dwoma sąsiednimi płytkami łódkowymi jest bardzo wąska przestrzeń, a płytki krzemowe są umieszczone po obu stronach pustych drzwi.

Ponieważ grafit, materiał, z którego wykonana jest łódź grafitowa, ma dobrą przewodność i przewodność cieplną, pomiędzy dwie sąsiednie łodzie przykładane jest napięcie prądu przemiennego, aby utworzyć elektrody dodatnie i ujemne. Kiedy w komorze panuje określone ciśnienie powietrza i gazu, pomiędzy dwiema łodziami następuje wyładowanie jarzeniowe. Wyładowanie jarzeniowe może rozkładać gaz SiH4 i NH3 w przestrzeni, tworzyć jony Si i N oraz łączyć się, tworząc cząsteczki SiNx. Osadza się go na powierzchni płytki krzemowej, aby osiągnąć cel powlekania.

Jako nośnik powłoki przeciwodblaskowej ogniw słonecznych, struktura i rozmiar łódki grafitowej bezpośrednio wpływają na wydajność konwersji i wydajność produkcji płytki krzemowej. Po latach badań technicznych i rozwoju nasza firma dysponuje obecnie zaawansowanym sprzętem produkcyjnym, dojrzałymi projektantami technologii i doświadczonym personelem produkcyjnym, a materiały są importowanymi surowcami. Obecnie łódź grafitowa produkowana przez naszą firmę ma zalety wysokiej wydajności. Konstrukcja jest prosta, a odległość między łódką grafitową jest rozsądna, co sprawia, że ​​powłoka płytki krzemowej jest jednolita, poprawia jakość płytki krzemowej i sprawia, że wysoka wydajność konwersji energii słonecznej. Firma Shijin oferuje wszelkiego rodzaju łódki z atramentem, których potrzebuje obecnie rynek

21


Czas publikacji: 8 kwietnia 2021 r
Czat online WhatsApp!