Jak pokazano powyżej, jest to typowe
Pierwsza połowa:
▪ Element grzejny (cewka grzejna):
umieszczone wokół rury pieca, zwykle wykonane z drutów oporowych, służące do ogrzewania wnętrza rury pieca.
▪ Rura kwarcowa:
Rdzeń pieca do utleniania na gorąco, wykonany z kwarcu o wysokiej czystości, który wytrzymuje wysokie temperatury i pozostaje chemicznie obojętny.
▪ Zasilanie gazem:
Znajduje się w górnej lub bocznej części rury pieca i służy do transportu tlenu lub innych gazów do wnętrza rury pieca.
▪ Kołnierz SS:
elementy łączące rurki kwarcowe i przewody gazowe, zapewniające szczelność i stabilność połączenia.
▪ Linie doprowadzające gaz:
Rury łączące MFC z portem zasilania gazem w celu przesyłu gazu.
▪ MFC (kontroler przepływu masowego):
Urządzenie kontrolujące przepływ gazu wewnątrz rurki kwarcowej w celu precyzyjnej regulacji wymaganej ilości gazu.
▪ Wentylacja:
Służy do odprowadzania gazów spalinowych z wnętrza rury pieca na zewnątrz urządzenia.
Dolna część:
▪ Wafle krzemowe w uchwycie:
Płytki krzemowe są umieszczone w specjalnym uchwycie, który zapewnia równomierne ciepło podczas utleniania.
▪ Uchwyt na opłatek:
Służy do mocowania płytki krzemowej i zapewnia stabilność płytki krzemowej podczas procesu.
▪ Cokół:
Struktura utrzymująca uchwyt na wafel krzemowy, zwykle wykonana z materiału odpornego na wysokie temperatury.
▪ Winda:
Służy do podnoszenia uchwytów płytek do i z rur kwarcowych w celu automatycznego załadunku i rozładunku płytek krzemowych.
▪ Robot do przenoszenia wafli:
Umieszczony z boku urządzenia z rurą pieca, służy do automatycznego wyjmowania płytki krzemowej ze skrzynki i umieszczania jej w rurze pieca lub usuwania jej po obróbce.
▪ Karuzela do przechowywania kaset:
Karuzela do przechowywania kaset służy do przechowywania pudełek zawierających płytki krzemowe i można ją obracać w celu uzyskania dostępu do robota.
▪ Kaseta waflowa:
Kaseta waflowa służy do przechowywania i przenoszenia płytek krzemowych przeznaczonych do obróbki.
Czas publikacji: 22 kwietnia 2024 r