Jak pokazano powyżej, jest to typowe
Pierwsza połowa:
Element grzejny (cewka grzejna): umieszczony wokół rury pieca, zwykle wykonany z drutów oporowych, używany do ogrzewania wnętrza rury pieca.
Rura kwarcowa: Rdzeń pieca do utleniania na gorąco, wykonany z kwarcu o wysokiej czystości, który wytrzymuje wysokie temperatury i pozostaje chemicznie obojętny.
Zasilanie gazem: Znajduje się w górnej lub bocznej części rury pieca i służy do transportu tlenu lub innych gazów do wnętrza rury pieca.
Kołnierz SS: elementy łączące rury kwarcowe i przewody gazowe, zapewniające szczelność i stabilność połączenia.
Linie doprowadzające gaz: Rury łączące MFC z portem zasilania gazem w celu przesyłu gazu.
MFC (Kontroler przepływu masowego): Urządzenie kontrolujące przepływ gazu wewnątrz rurki kwarcowej w celu precyzyjnej regulacji wymaganej ilości gazu.
Odpowietrznik: Służy do odprowadzania gazów spalinowych z wnętrza rury pieca na zewnątrz urządzenia.
Dolna część
Wafle krzemowe w uchwycie: Wafle krzemowe są umieszczone w specjalnym uchwycie, aby zapewnić równomierne ciepło podczas utleniania.
Uchwyt na wafel: Służy do przytrzymywania płytki krzemowej i zapewnia stabilność płytki krzemowej podczas procesu.
Cokół: Konstrukcja utrzymująca uchwyt wafla krzemowego, zwykle wykonana z materiału odpornego na wysokie temperatury.
Winda: Służy do podnoszenia uchwytów płytek do i z rur kwarcowych w celu automatycznego załadunku i rozładunku płytek krzemowych.
Robot do przenoszenia wafli: umieszczony z boku urządzenia z rurą pieca, służy do automatycznego wyjmowania wafla krzemowego z pudełka i umieszczania go w rurze pieca lub usuwania go po obróbce.
Karuzela do przechowywania kaset: Karuzela do przechowywania kaset służy do przechowywania pudełka zawierającego płytki krzemowe i można ją obracać w celu uzyskania dostępu do robota.
Kaseta waflowa: kaseta waflowa służy do przechowywania i przenoszenia płytek krzemowych do przetworzenia.
Czas publikacji: 22 kwietnia 2024 r