Główne funkcjełódź z węglika krzemuwspornik i wspornik łodzi kwarcowej są takie same.Łódź z węglika krzemuwsparcie ma doskonałą wydajność, ale wysoką cenę. Stanowi alternatywę dla wsparcia łodzi kwarcowych w sprzęcie do przetwarzania akumulatorów pracujących w trudnych warunkach (takich jak sprzęt LPCVD i sprzęt do dyfuzji boru). W sprzęcie do przetwarzania akumulatorów w zwykłych warunkach pracy, ze względu na relacje cenowe, węglik krzemu i wspornik łodzi kwarcowych stają się współistniejącymi i konkurencyjnymi kategoriami.
① Zależność substytucyjna w sprzęcie LPCVD i dyfuzji boru
Sprzęt LPCVD służy do tunelowania ogniw akumulatorowych i procesu przygotowania warstwy domieszkowanego polikrzemu. Zasada działania:
W atmosferze niskociśnieniowej, w połączeniu z odpowiednią temperaturą, zachodzi reakcja chemiczna i tworzenie się filmu osadzającego, w celu przygotowania ultracienkiej tunelowej warstwy tlenku i folii polikrzemowej. W procesie utleniania tunelowego i przygotowania domieszkowanej warstwy polikrzemu, wspornik łodzi ma wysoką temperaturę roboczą, a na powierzchni osadza się film silikonowy. Współczynnik rozszerzalności cieplnej kwarcu jest zupełnie inny niż krzemu. W przypadku stosowania w powyższym procesie konieczne jest regularne trawienie i usuwanie krzemu osadzonego na powierzchni, aby zapobiec pękaniu kwarcowego wspornika łodzi z powodu rozszerzalności i kurczenia się cieplnego ze względu na inny współczynnik rozszerzalności cieplnej niż krzem. Ze względu na częste trawienie i niską wytrzymałość na wysoką temperaturę, kwarcowy uchwyt do łodzi ma krótką żywotność i jest często wymieniany w procesie utleniania tunelowego i przygotowania warstwy domieszkowanego polikrzemu, co znacznie zwiększa koszty produkcji ogniwa akumulatorowego. Współczynnik rozszerzalnościwęglik krzemujest zbliżony do krzemu. Zintegrowanyłódź z węglika krzemuoprawka nie wymaga wytrawiania w procesie utleniania tunelowego i przygotowania warstwy polikrzemu domieszkowanego. Ma wysoką wytrzymałość na wysoką temperaturę i długą żywotność. Jest to dobra alternatywa dla kwarcowego uchwytu do łodzi.
Urządzenia do ekspandowania boru stosuje się głównie w procesie domieszkowania pierwiastków boru na podłożu z płytki krzemowej typu N ogniwa akumulatorowego w celu przygotowania emitera typu P do utworzenia złącza PN. Zasada działania polega na realizacji reakcji chemicznej i tworzeniu się filmu osadzania molekularnego w atmosferze o wysokiej temperaturze. Po utworzeniu folii można ją rozproszyć przez ogrzewanie w wysokiej temperaturze, aby zrealizować funkcję domieszkowania powierzchni płytki krzemowej. Ze względu na wysoką temperaturę roboczą urządzeń do rozszerzania boru, kwarcowy uchwyt do łodzi ma niską wytrzymałość na wysokie temperatury i krótką żywotność w urządzeniach do rozszerzania boru. Zintegrowanyłódź z węglika krzemuuchwyt ma wysoką wytrzymałość na wysoką temperaturę i jest dobrą alternatywą dla kwarcowego uchwytu do łodzi w procesie rozszerzania boru.
② Związek substytucyjny w innym sprzęcie procesowym
Podpory łodzi SiC mają ograniczoną zdolność produkcyjną i doskonałą wydajność. Ich cena jest na ogół wyższa niż cena podpór do łodzi kwarcowych. W ogólnych warunkach pracy sprzętu do przetwarzania ogniw różnica w żywotności między podporami łodzi SiC i podporami łodzi kwarcowymi jest niewielka. Klienci na dalszym szczeblu łańcucha dostaw porównują i wybierają między ceną a wydajnością głównie w oparciu o własne procesy i potrzeby. Podpory do łodzi SiC i podpory do łodzi kwarcowe stały się współistniejące i konkurencyjne. Jednakże marża zysku brutto na wspornikach do łodzi SiC jest obecnie stosunkowo wysoka. Wraz ze spadkiem kosztów produkcji podpór do łodzi z SiC, jeśli cena sprzedaży podpór do łodzi z SiC aktywnie spadnie, będzie to również stanowić większą konkurencyjność w stosunku do podpór do łodzi z kwarcu.
Współczynnik wykorzystania
Ścieżka technologii ogniw to głównie technologia PERC i technologia TOPCon. Udział w rynku technologii PERC wynosi 88%, a udział w rynku technologii TOPCon wynosi 8,3%. Łączny udział obu firm w rynku wynosi 96,30%.
Jak pokazano na poniższym rysunku:
W technologii PERC podpory łodzi są wymagane do procesów frontalnej dyfuzji fosforu i wyżarzania. W technologii TOPCon podpory łodzi są wymagane w procesach przedniej dyfuzji boru, LPCVD, tylnej dyfuzji fosforu i wyżarzania. Obecnie podpory do łodzi z węglika krzemu są stosowane głównie w procesie LPCVD technologii TOPCon, a ich zastosowanie w procesie dyfuzji boru zostało głównie zweryfikowane.
Rysunek Zastosowanie podpór łódkowych w procesie przetwarzania komórek
Uwaga: Po pokryciu przodu i tyłu w technologiach PERC i TOPCon nadal istnieją ogniwa, takie jak sitodruk, spiekanie oraz testowanie i sortowanie, które nie wymagają użycia podpór do łodzi i nie są wymienione na powyższym rysunku.
Czas publikacji: 15 października 2024 r