ਵੈਟ-ਚੀਨ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਹਰ ਟਿਕਾਊਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਪੈਡਲਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਅਤੇ ਟਿਕਾਊਤਾ ਹੈ. ਇਹ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਪੈਡਲ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਉੱਨਤ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ ਕਿ ਇਸਦੀ ਢਾਂਚਾਗਤ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਕਾਰਜਕੁਸ਼ਲਤਾ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਖੋਰ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਬਣੀ ਰਹੇ। ਇਹ ਨਵੀਨਤਾਕਾਰੀ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਸਮਰਥਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਸਵੈਚਾਲਿਤ ਕਾਰਜਾਂ ਲਈ।
SiC Cantilever ਪੈਡਲਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਕਸੀਡੇਸ਼ਨ ਫਰਨੇਸ, ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਫਰਨੇਸ, ਅਤੇ ਐਨੀਲਿੰਗ ਫਰਨੇਸ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਣ ਵਾਲਾ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ, ਮੁੱਖ ਵਰਤੋਂ ਵੇਫਰ ਲੋਡਿੰਗ ਅਤੇ ਅਨਲੋਡਿੰਗ, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸਮਰਥਨ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਕਰਨ ਲਈ ਹੈ।
ਆਮ ਬਣਤਰਦੇਐਸ.ਆਈ.ਸੀcਐਂਟੀਲੀਵਰpਐਡਲ: ਇੱਕ ਕੰਟੀਲੀਵਰ ਢਾਂਚਾ, ਇੱਕ ਸਿਰੇ 'ਤੇ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਦੂਜੇ ਪਾਸੇ ਖਾਲੀ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਫਲੈਟ ਅਤੇ ਪੈਡਲ ਵਰਗਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਕੰਮ ਕਰ ਰਿਹਾ ਹੈpਸਿਧਾਂਤਦੇਐਸ.ਆਈ.ਸੀcਐਂਟੀਲੀਵਰpਐਡਲ:
ਕੰਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਫਰਨੇਸ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਅੰਦਰ ਉੱਪਰ ਅਤੇ ਹੇਠਾਂ ਜਾਂ ਅੱਗੇ-ਪਿੱਛੇ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਲੋਡਿੰਗ ਖੇਤਰਾਂ ਤੋਂ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਖੇਤਰਾਂ ਤੱਕ, ਜਾਂ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਖੇਤਰਾਂ ਤੋਂ ਬਾਹਰ, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸਪੋਰਟ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਥਿਰ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ।
| ਰੀਕ੍ਰਿਸਟਾਲਾਈਜ਼ਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦੀਆਂ ਭੌਤਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ | |
| ਜਾਇਦਾਦ | ਆਮ ਮੁੱਲ |
| ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ (°C) | 1600°C (ਆਕਸੀਜਨ ਦੇ ਨਾਲ), 1700°C (ਵਾਤਾਵਰਣ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ) |
| SiC ਸਮੱਗਰੀ | > 99.96% |
| ਮੁਫ਼ਤ ਸੀ ਸਮੱਗਰੀ | < 0.1% |
| ਬਲਕ ਘਣਤਾ | 2.60-2.70 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ3 |
| ਜ਼ਾਹਰ porosity | <16% |
| ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਤਾਕਤ | > 600 MPa |
| ਠੰਡੇ ਝੁਕਣ ਦੀ ਤਾਕਤ | 80-90 MPa (20°C) |
| ਗਰਮ ਝੁਕਣ ਦੀ ਤਾਕਤ | 90-100 MPa (1400°C) |
| ਥਰਮਲ ਵਿਸਤਾਰ @1500°C | 4.70 10-6/°ਸੈ |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ @1200°C | 23 W/m•K |
| ਲਚਕੀਲੇ ਮਾਡਿਊਲਸ | 240 ਜੀਪੀਏ |
| ਥਰਮਲ ਸਦਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ | ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ |
