1. ਸਫਾਈ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਰਸੀਦ
1) ਜਦੋਂPECVD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ 100 ਤੋਂ 150 ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਾਰ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਓਪਰੇਟਰ ਨੂੰ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਜੇ ਕੋਈ ਅਸਧਾਰਨ ਪਰਤ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਸਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਅਤੇ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ। ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦਾ ਆਮ ਪਰਤ ਦਾ ਰੰਗ ਨੀਲਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਜੇ ਵੇਫਰ ਵਿੱਚ ਗੈਰ-ਨੀਲੇ, ਕਈ ਰੰਗ ਹਨ, ਜਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ ਰੰਗ ਦਾ ਅੰਤਰ ਵੱਡਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਇੱਕ ਅਸਧਾਰਨ ਪਰਤ ਹੈ, ਅਤੇ ਅਸਧਾਰਨਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ ਦੀ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ।
2) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਬਾਅਦ ਕਰਮਚਾਰੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਦੇ ਹਨPECVD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ, ਉਹ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਿਤ ਕਰਨਗੇ ਕਿ ਕੀ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ ਅਤੇ ਕੀ ਕਾਰਡ ਪੁਆਇੰਟ ਨੂੰ ਬਦਲਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ, ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ ਜਿਸ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ, ਨੂੰ ਸਫਾਈ ਲਈ ਉਪਕਰਣ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ ਨੂੰ ਸੌਂਪਿਆ ਜਾਵੇਗਾ।
3) ਦੇ ਬਾਅਦਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ ਪਹੁੰਚਿਆ ਹੈ, ਉਤਪਾਦਨ ਕਰਮਚਾਰੀ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ ਵਿੱਚ ਸਾਰੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢ ਲੈਣਗੇ ਅਤੇ ਸੀਡੀਏ (ਕੰਪਰੈੱਸਡ ਏਅਰ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਟੁਕੜਿਆਂ ਨੂੰ ਛਾਂਟਣ ਲਈਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ. ਪੂਰਾ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਕਰਮਚਾਰੀ ਇਸ ਨੂੰ ਐਸਿਡ ਟੈਂਕ ਵਿੱਚ ਚੁੱਕਣਗੇ ਜੋ ਸਫਾਈ ਲਈ HF ਘੋਲ ਦੇ ਇੱਕ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਅਨੁਪਾਤ ਨਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ।
2. ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ ਦੀ ਸਫਾਈ
ਸਫਾਈ ਦੇ ਤਿੰਨ ਦੌਰ ਲਈ 15-25% ਹਾਈਡ੍ਰੋਫਲੋਰਿਕ ਐਸਿਡ ਘੋਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਹਰ ਇੱਕ ਨੂੰ 4-5 ਘੰਟਿਆਂ ਲਈ, ਅਤੇ ਸਮੇਂ-ਸਮੇਂ 'ਤੇ ਭਿੱਜਣ ਅਤੇ ਸਫਾਈ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਦਾ ਬੁਲਬੁਲਾ ਕਰਨਾ, ਲਗਭਗ ਅੱਧਾ ਘੰਟਾ ਸਫਾਈ ਜੋੜਨਾ; ਨੋਟ: ਬੁਲਬੁਲੇ ਲਈ ਗੈਸ ਸਰੋਤ ਵਜੋਂ ਹਵਾ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਨਹੀਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ। ਪਿਕਲਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਲਗਭਗ 10 ਘੰਟਿਆਂ ਲਈ ਸ਼ੁੱਧ ਪਾਣੀ ਨਾਲ ਕੁਰਲੀ ਕਰੋ, ਅਤੇ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰੋ ਕਿ ਕਿਸ਼ਤੀ ਨੂੰ ਚੰਗੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਾਫ਼ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਸਫਾਈ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਕਿਰਪਾ ਕਰਕੇ ਕਿਸ਼ਤੀ ਦੀ ਸਤਹ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਾਰਡ ਪੁਆਇੰਟ ਅਤੇ ਕਿਸ਼ਤੀ ਸ਼ੀਟ ਦੇ ਜੋੜ ਅਤੇ ਹੋਰ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰੋ ਕਿ ਕੀ ਕੋਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਹੈ। ਫਿਰ ਲੋੜ ਅਨੁਸਾਰ ਸੁਕਾਓ।
3. ਸਫਾਈ ਦੀਆਂ ਸਾਵਧਾਨੀਆਂ
A) ਕਿਉਂਕਿ HF ਐਸਿਡ ਇੱਕ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਖਰਾਬ ਕਰਨ ਵਾਲਾ ਪਦਾਰਥ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਇੱਕ ਖਾਸ ਅਸਥਿਰਤਾ ਹੈ, ਇਹ ਓਪਰੇਟਰਾਂ ਲਈ ਖਤਰਨਾਕ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਸਫਾਈ ਪੋਸਟ 'ਤੇ ਚਾਲਕਾਂ ਨੂੰ ਸੁਰੱਖਿਆ ਦੀਆਂ ਸਾਵਧਾਨੀਆਂ ਵਰਤਣੀਆਂ ਚਾਹੀਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਇੱਕ ਸਮਰਪਿਤ ਵਿਅਕਤੀ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਬੰਧਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
ਅ) ਕਿਸ਼ਤੀ ਨੂੰ ਵੱਖ ਕਰਨ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸਫਾਈ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਸਿਰਫ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਹਿੱਸੇ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰੋ, ਤਾਂ ਜੋ ਹਰੇਕ ਸੰਪਰਕ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਨੂੰ ਹੋਰ ਚੰਗੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਾਫ਼ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕੇ। ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਘਰੇਲੂ ਨਿਰਮਾਤਾ ਸਮੁੱਚੀ ਸਫਾਈ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਸੁਵਿਧਾਜਨਕ ਹੈ, ਪਰ ਕਿਉਂਕਿ HF ਐਸਿਡ ਵਸਰਾਵਿਕ ਹਿੱਸਿਆਂ ਲਈ ਖਰਾਬ ਹੈ, ਸਮੁੱਚੀ ਸਫਾਈ ਸੰਬੰਧਿਤ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਘਟਾ ਦੇਵੇਗੀ।
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਦਸੰਬਰ-23-2024