ਸਭ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ, ਸਾਨੂੰ ਜਾਣਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੈਪੀ.ਈ.ਸੀ.ਵੀ.ਡੀ(ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨਹਾਂਸਡ ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾਂ)। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪਦਾਰਥਕ ਅਣੂਆਂ ਦੀ ਥਰਮਲ ਗਤੀ ਦੀ ਤੀਬਰਤਾ ਹੈ। ਉਹਨਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਟਕਰਾਉਣ ਨਾਲ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹੋ ਜਾਣਗੇ, ਅਤੇ ਸਮੱਗਰੀ ਸੁਤੰਤਰ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘੁੰਮਦੇ ਹੋਏ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਅਤੇ ਨਿਰਪੱਖ ਕਣਾਂ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਣ ਬਣ ਜਾਵੇਗੀ ਜੋ ਇੱਕ ਦੂਜੇ ਨਾਲ ਗੱਲਬਾਤ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਇਹ ਅੰਦਾਜ਼ਾ ਲਗਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਤਹ 'ਤੇ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਦੇ ਪ੍ਰਤੀਬਿੰਬ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਦੀ ਦਰ ਲਗਭਗ 35% ਹੈ। ਐਂਟੀ-ਰਿਫਲੈਕਸ਼ਨ ਫਿਲਮ ਬੈਟਰੀ ਸੈੱਲ ਦੁਆਰਾ ਸੂਰਜੀ ਰੋਸ਼ਨੀ ਦੀ ਉਪਯੋਗਤਾ ਦਰ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਸੁਧਾਰ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਫੋਟੋਜਨਰੇਟਡ ਮੌਜੂਦਾ ਘਣਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪਰਿਵਰਤਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਉਸੇ ਸਮੇਂ, ਫਿਲਮ ਵਿੱਚ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਬੈਟਰੀ ਸੈੱਲ ਦੀ ਸਤਹ ਨੂੰ ਪਾਸ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਐਮੀਟਰ ਜੰਕਸ਼ਨ ਦੀ ਸਤਹ ਦੇ ਪੁਨਰ-ਸੰਯੋਜਨ ਦੀ ਦਰ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਹਨੇਰੇ ਕਰੰਟ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਓਪਨ ਸਰਕਟ ਵੋਲਟੇਜ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫੋਟੋਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਿਵਰਤਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਬਰਨ-ਥਰੂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਤਤਕਾਲ ਐਨੀਲਿੰਗ ਕੁਝ Si-H ਅਤੇ NH ਬਾਂਡਾਂ ਨੂੰ ਤੋੜਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਮੁਕਤ H ਬੈਟਰੀ ਦੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਹੋਰ ਮਜ਼ਬੂਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਕਿਉਂਕਿ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ-ਗਰੇਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਵਿੱਚ ਲਾਜ਼ਮੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਘੱਟ ਗਿਣਤੀ ਕੈਰੀਅਰ ਦਾ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿੱਚ ਫੈਲਣ ਦੀ ਲੰਬਾਈ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਬੈਟਰੀ ਦੀ ਪਰਿਵਰਤਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਕਮੀ ਆਉਂਦੀ ਹੈ। H ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਜਾਂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਬੈਂਡਗੈਪ ਵਿੱਚ ਊਰਜਾ ਬੈਂਡ ਨੂੰ ਵੈਲੈਂਸ ਬੈਂਡ ਜਾਂ ਕੰਡਕਸ਼ਨ ਬੈਂਡ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।
1. PECVD ਸਿਧਾਂਤ
PECVD ਸਿਸਟਮ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਜਨਰੇਟਰਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਲੜੀ ਹੈPECVD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਵਾਰਵਾਰਤਾ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਕਸਾਈਟਰਜ਼। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਜਨਰੇਟਰ ਘੱਟ ਦਬਾਅ ਅਤੇ ਉੱਚੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਨ ਲਈ ਕੋਟਿੰਗ ਪਲੇਟ ਦੇ ਮੱਧ ਵਿੱਚ ਸਿੱਧਾ ਸਥਾਪਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਣ ਵਾਲੀਆਂ ਸਰਗਰਮ ਗੈਸਾਂ ਸਿਲੇਨ SiH4 ਅਤੇ ਅਮੋਨੀਆ NH3 ਹਨ। ਇਹ ਗੈਸਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਸਟੋਰ ਕੀਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ 'ਤੇ ਕੰਮ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਸਿਲੇਨ ਅਤੇ ਅਮੋਨੀਆ ਦੇ ਅਨੁਪਾਤ ਨੂੰ ਬਦਲ ਕੇ ਵੱਖੋ-ਵੱਖਰੇ ਅਪਵਰਤਕ ਸੂਚਕਾਂਕ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੇ ਜਾ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਪਰਮਾਣੂ ਅਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਦੀ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਪੈਸੀਵੇਸ਼ਨ ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇੱਕ ਵੈਕਿਊਮ ਅਤੇ 480 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਦੇ ਇੱਕ ਚੌਗਿਰਦੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ, SixNy ਦੀ ਇੱਕ ਪਰਤ ਨੂੰ ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਲੇਪ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।PECVD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 ਫਿਲਮ ਦਾ ਰੰਗ ਇਸਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੇ ਨਾਲ ਬਦਲਦਾ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਆਦਰਸ਼ ਮੋਟਾਈ 75 ਅਤੇ 80 nm ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਗੂੜ੍ਹੇ ਨੀਲੇ ਦਿਖਾਈ ਦਿੰਦੀ ਹੈ। Si3N4 ਫਿਲਮ ਦਾ ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ 2.0 ਅਤੇ 2.5 ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸਭ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਹੈ। ਅਲਕੋਹਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਸਦੇ ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ ਨੂੰ ਮਾਪਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਸਤਹ ਪੈਸੀਵੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਭਾਵ, ਕੁਸ਼ਲ ਆਪਟੀਕਲ ਐਂਟੀ-ਰਿਫਲੈਕਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ (ਮੋਟਾਈ ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ ਮੈਚਿੰਗ), ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ (ਪ੍ਰਭਾਵੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ), ਅਤੇ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ H ਆਇਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਨੂੰ ਪਾਸ ਕਰਦੇ ਹਨ।
3. ਕੋਟਿੰਗ ਵਰਕਸ਼ਾਪ ਵਿੱਚ ਆਮ ਮਾਮਲੇ
ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ:
ਵੱਖ-ਵੱਖ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਲਈ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦਾ ਸਮਾਂ ਵੱਖਰਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦਾ ਸਮਾਂ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਰੰਗ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਉਚਿਤ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਧਾਇਆ ਜਾਂ ਘਟਾਇਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਜੇ ਫਿਲਮ ਚਿੱਟੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦਾ ਸਮਾਂ ਘਟਾਇਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ. ਜੇਕਰ ਇਹ ਲਾਲ ਰੰਗ ਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਸਨੂੰ ਉਚਿਤ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਵਧਾਇਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਹਰੇਕ ਕਿਸ਼ਤੀ ਦੀ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕੀਤੀ ਜਾਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਵਾਲੇ ਉਤਪਾਦਾਂ ਨੂੰ ਅਗਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਹਿਣ ਦੀ ਆਗਿਆ ਨਹੀਂ ਹੈ. ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਜੇਕਰ ਪਰਤ ਖਰਾਬ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਰੰਗ ਦੇ ਚਟਾਕ ਅਤੇ ਵਾਟਰਮਾਰਕਸ, ਸਭ ਤੋਂ ਆਮ ਸਤਹ ਨੂੰ ਸਫੈਦ ਕਰਨਾ, ਰੰਗ ਦਾ ਅੰਤਰ, ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਈਨ 'ਤੇ ਚਿੱਟੇ ਚਟਾਕ ਨੂੰ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਕੱਢ ਲਿਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਸਤਹ ਨੂੰ ਚਿੱਟਾ ਕਰਨਾ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮੋਟੀ ਸਿਲੀਕੋਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਫਿਲਮ ਦੇ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨੂੰ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੇ ਸਮੇਂ ਨੂੰ ਐਡਜਸਟ ਕਰਕੇ ਐਡਜਸਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ; ਰੰਗ ਅੰਤਰ ਫਿਲਮ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗੈਸ ਮਾਰਗ ਦੀ ਰੁਕਾਵਟ, ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬ ਲੀਕੇਜ, ਮਾਈਕ੍ਰੋਵੇਵ ਅਸਫਲਤਾ, ਆਦਿ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦੀ ਹੈ; ਚਿੱਟੇ ਚਟਾਕ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪਿਛਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਛੋਟੇ ਕਾਲੇ ਚਟਾਕ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਰਿਫਲੈਕਟਿਵਿਟੀ, ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ, ਆਦਿ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ, ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਆਦਿ।
ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਚਿੱਟੇ ਚਟਾਕ:
PECVD ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕ ਕੰਪਨੀ ਦੇ ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲਾਂ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਦਾ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੂਚਕ ਹੈ। PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਿਅਸਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈੱਲਾਂ ਦੇ ਹਰੇਕ ਬੈਚ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਬਹੁਤ ਸਾਰੀਆਂ ਕੋਟਿੰਗ ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬਾਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਹਰੇਕ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਂਕੜੇ ਸੈੱਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ (ਉਪਕਰਨ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੇ ਹੋਏ)। ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਤਸਦੀਕ ਦਾ ਚੱਕਰ ਲੰਬਾ ਹੈ. ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਇੱਕ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਹੈ ਜਿਸਨੂੰ ਪੂਰਾ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਉਦਯੋਗ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵ ਦਿੰਦਾ ਹੈ। ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਕੇ ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲਾਂ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਭਵਿੱਖ ਵਿੱਚ, ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲ ਸਤਹ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲਾਂ ਦੀ ਸਿਧਾਂਤਕ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਫਲਤਾ ਬਣ ਸਕਦੀ ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਦਸੰਬਰ-23-2024