ਉੱਨਤSiC Cantilever ਪੈਡਲਵੈਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ ਵੈਟ-ਚੀਨ ਦੁਆਰਾ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਇੱਕ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਹੱਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਕੰਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ SiC (ਸਿਲਿਕਨ ਕਾਰਬਾਈਡ) ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਗਰਮੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਇਸ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਬਰਕਰਾਰ ਰੱਖਣ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਦਾ ਡਿਜ਼ਾਇਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਮਰਥਤ ਕਰਨ ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਦਿੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਟੁੱਟਣ ਅਤੇ ਨੁਕਸਾਨ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਘਟਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
SiC Cantilever ਪੈਡਲਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਕਸੀਡੇਸ਼ਨ ਫਰਨੇਸ, ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਫਰਨੇਸ, ਅਤੇ ਐਨੀਲਿੰਗ ਫਰਨੇਸ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਣ ਵਾਲਾ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ, ਮੁੱਖ ਵਰਤੋਂ ਵੇਫਰ ਲੋਡਿੰਗ ਅਤੇ ਅਨਲੋਡਿੰਗ, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸਮਰਥਨ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਕਰਨ ਲਈ ਹੈ।
ਆਮ ਬਣਤਰਦੇਐਸ.ਆਈ.ਸੀcਐਂਟੀਲੀਵਰpਐਡਲ: ਇੱਕ ਕੰਟੀਲੀਵਰ ਢਾਂਚਾ, ਇੱਕ ਸਿਰੇ 'ਤੇ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਦੂਜੇ ਪਾਸੇ ਖਾਲੀ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਫਲੈਟ ਅਤੇ ਪੈਡਲ ਵਰਗਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
VET ਊਰਜਾ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੀ ਗਾਰੰਟੀ ਦੇਣ ਲਈ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮੁੜ-ਕ੍ਰਿਸਟਾਲਾਈਜ਼ਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ।
| ਰੀਕ੍ਰਿਸਟਾਲਾਈਜ਼ਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦੀਆਂ ਭੌਤਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ | |
| ਜਾਇਦਾਦ | ਆਮ ਮੁੱਲ |
| ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ (°C) | 1600°C (ਆਕਸੀਜਨ ਦੇ ਨਾਲ), 1700°C (ਵਾਤਾਵਰਣ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ) |
| SiC ਸਮੱਗਰੀ | > 99.96% |
| ਮੁਫ਼ਤ ਸੀ ਸਮੱਗਰੀ | < 0.1% |
| ਬਲਕ ਘਣਤਾ | 2.60-2.70 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ3 |
| ਜ਼ਾਹਰ porosity | <16% |
| ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਤਾਕਤ | > 600MPa |
| ਠੰਡੇ ਝੁਕਣ ਦੀ ਤਾਕਤ | 80-90 MPa (20°C) |
| ਗਰਮ ਝੁਕਣ ਦੀ ਤਾਕਤ | 90-100 MPa (1400°C) |
| ਥਰਮਲ ਵਿਸਤਾਰ @1500°C | 4.70 10-6/°ਸੈ |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ @1200°C | 23W/m•K |
| ਲਚਕੀਲੇ ਮਾਡਿਊਲਸ | 240 ਜੀਪੀਏ |
| ਥਰਮਲ ਸਦਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ | ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ |
ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ VET ਐਨਰਜੀ ਦੇ ਐਡਵਾਂਸਡ SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ:
-ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ: 1600 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਦੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਵਰਤੋਂ ਯੋਗ;
-ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਤਾਰ ਗੁਣਾਂਕ: ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਵਾਰਪੇਜ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ;
- ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ: ਧਾਤ ਦੇ ਗੰਦਗੀ ਦਾ ਘੱਟ ਜੋਖਮ;
-ਰਸਾਇਣਕ ਜੜਤਾ: ਖੋਰ-ਰੋਧਕ, ਵੱਖ-ਵੱਖ ਗੈਸ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ;
-ਹਾਈ ਤਾਕਤ ਅਤੇ ਕਠੋਰਤਾ: ਪਹਿਨਣ-ਰੋਧਕ, ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਦੀ ਜ਼ਿੰਦਗੀ;
-ਚੰਗੀ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ: ਇਕਸਾਰ ਵੇਫਰ ਹੀਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀ ਹੈ।
