SiC-belegg/belagt grafittsubstrat/brett for halvleder

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth er et høyytelsesprodukt designet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over en lengre periode.Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet, erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.


Produkt detalj

Produktetiketter

SiC-belegg/belagt av Grafitt-susceptor for Semiconductor
 
SiC Coated Graphite Susceptor er en nøkkelkomponent som brukes i ulike halvlederproduksjonsprosesser.Vi bruker vår patenterte teknologi for å lage silisiumkarbidbæreren med ekstremt høy renhet, god beleggsenhet og utmerket levetid, samt høy kjemisk motstandsdyktighet og termiske stabilitetsegenskaper.

 Egenskaper: 
· Utmerket termisk støtmotstand
· Utmerket fysisk støtmotstand
· Utmerket kjemisk motstand
· Super høy renhet
· Tilgjengelighet i kompleks form
· Kan brukes under oksiderende atmosfære

Applikasjon:

3

Typiske egenskaper for basisgrafittmateriale:

Tilsynelatende tetthet: 1,85 g/cm3
Elektrisk resistivitet: 11 μΩm
Bøyestyrke: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore hardhet: 58
Aske: <5 ppm
Termisk ledningsevne: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg

性质 / Eiendom

典型数值 / Typisk verdi

晶体结构 / Krystallstruktur

FCC β fase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Tetthet

3,21 g/cm³

硬度 / Hardhet

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10μm

纯度 / Kjemisk renhet

99,99995 %

热容 / Varmekapasitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bøyning, 1300 ℃

导热系数 / Termisk ledningsevne

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / termisk ekspansjon (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy er den virkelige produsenten av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med forskjellige belegg som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc., kan levere forskjellige tilpassede deler til halvleder- og solcelleindustrien.

Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsninger for deg.

Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å gi mer avanserte materialer, og har utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp nettprat!