Funksjoner:
· Utmerket termisk støtmotstand
· Utmerket fysisk støtmotstand
· Utmerket kjemisk motstand
· Super høy renhet
· Tilgjengelighet i kompleks form
· Kan brukes under oksiderende atmosfære
Søknad:
Produktegenskaper og fordeler:
1. Overlegen termisk motstand:Med en høy renhetSiC belegg, tåler underlaget ekstreme temperaturer, og sikrer jevn ytelse i krevende miljøer som epitaksi og halvlederfabrikasjon.
2. Forbedret holdbarhet:De SiC-belagte grafittkomponentene er designet for å motstå kjemisk korrosjon og oksidasjon, og øker substratets levetid sammenlignet med standard grafittsubstrater.
3. Glassbelagt grafitt:Den unike glasslegemets strukturSiC belegggir utmerket overflatehardhet, minimerer slitasje under høytemperaturbehandling.
4. SiC-belegg med høy renhet:Vårt substrat sikrer minimal forurensning i sensitive halvlederprosesser, og tilbyr pålitelighet for industrier som krever streng materialrenhet.
5. Bredt markedsapplikasjon:DeSiC-belagt grafittsusceptorMarkedet fortsetter å vokse ettersom etterspørselen etter avanserte SiC-belagte produkter innen halvlederproduksjon øker, og posisjonerer dette substratet som en nøkkelaktør både i markedet for grafittwaferbærer og markedet for silisiumkarbidbelagte grafittbrett.
Typiske egenskaper for basisgrafittmateriale:
| Tilsynelatende tetthet: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrisk resistivitet: | 11 μΩm |
| Bøyestyrke: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Shore hardhet: | 58 |
| Aske: | <5 ppm |
| Termisk ledningsevne: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
| 晶体结构 / Krystallstruktur | FCC β fase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tetthet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardhet | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
| 纯度 / Kjemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
| 导热系数 / Termisk ledningsevne | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy er den virkelige produsenten av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med forskjellige belegg som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc., kan levere forskjellige tilpassede deler til halvleder- og solcelleindustrien.
Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsninger for deg.
Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å gi mer avanserte materialer, og har utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.
Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!
