Siliciumcarbide coating Grafiet ladeplaat en deksel

Korte beschrijving:

VET Energy grafietplaat en deksel met siliciumcarbidecoating is een hoogwaardig product dat is ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een langere periode. Het heeft een supergoede hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.

Stuur een e-mail naar ons Downloaden als PDF

Productdetail

Productlabels

VET EnergieSiliciumcarbide coating Grafiet lade, Plate en Cover is ontworpen om topprestaties te leveren en een betrouwbare en consistente werking te bieden bij langdurig gebruik, waardoor het een essentiële keuze is voor waferverwerkingstoepassingen in de halfgeleiderindustrie. Deze krachtigeGrafietplaat met siliciumcarbidecoatingbeschikt over uitzonderlijke hittebestendigheid, superieure thermische uniformiteit en uitstekende chemische stabiliteit, vooral bij hoge temperaturen. De zeer zuivere constructie, gecombineerd met geavanceerde erosiebestendigheid, maakt het onmisbaar voor veeleisende omgevingen zoalsMOCVD-suceptoren.

Belangrijkste kenmerken van siliciumcarbidecoating Grafietbak, plaat en deksel

1. Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen:Bestand tegen temperaturen tot 1700℃, waardoor hij betrouwbaar presteert onder extreme omstandigheden.

2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit:Een consistente hoge zuiverheid en gelijkmatige warmteverdeling zijn cruciaal voor MOCVD-toepassingen.

3. Uitzonderlijke corrosieweerstand:Bestand tegen zuren, logen, zouten en verschillende organische reagentia, waardoor stabiliteit op lange termijn in diverse omgevingen wordt gegarandeerd.

4. Hoge hardheid en compact oppervlak:Beschikt over een dicht oppervlak met fijne deeltjes, wat de algehele duurzaamheid en slijtvastheid verbetert.

5. Verlengde levensduur:Ontworpen voor een lange levensduur en beter presterend dan conventioneelgrafiet susceptoren met siliciumcarbide coatingin zware halfgeleiderverwerkingsomgevingen.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Geen probleem / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
导热系数 / ThermalGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1

De expertise van VET Energy in op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideoplossingen

Als vertrouwde fabrikant is VET Energy gespecialiseerd in op maat ontworpen grafietkroezen en siliciumcarbidecoatingoplossingen. We bieden een reeks producten op maat voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie, inclusiefSiC-gecoate grafietcomponentenzoals dienbladen, borden en deksels. Ons productassortiment omvat ook diverse coatingopties, zoalsSiC-coating voor MOCVD, TaC-coating, glasachtige koolstofcoatingen pyrolytische koolstofcoating, waardoor we voldoen aan de uiteenlopende eisen van hightechindustrieën.

Ons ervaren technische team, bestaande uit experts van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen, biedt uitgebreide materiaaloplossingen voor klanten. We verfijnen voortdurend onze geavanceerde processen, waaronder een exclusieve gepatenteerde technologie die de hechting tussen de siliciumcarbidecoating en het grafietsubstraat verbetert, waardoor het risico op loslating wordt verminderd en de levensduur van het product verder wordt verlengd.

Toepassingen en voordelen bij de productie van halfgeleiders

DeSiliciumcarbidecoating voor MOCVDmaakt deze grafiet susceptors zeer effectief in corrosieve omgevingen met hoge temperaturen. Of ze nu worden gebruikt als grafietwafeldragers of andere MOCVD-componenten, deze met siliciumcarbide gecoate susceptors demonstreren superieure duurzaamheid en prestaties. Voor degenen die op zoek zijn naar betrouwbare oplossingen in deSiC-gecoate grafiet susceptormarkt bieden de met siliciumcarbide gecoate grafietbak, -plaat en -afdekking van VET Energy een robuuste en veelzijdige optie die voldoet aan de strenge eisen van de halfgeleiderindustrie.

Door zich te concentreren op geavanceerde materiaalwetenschap, streeft VET Energy naar het leveren van hoogwaardige SiC-gecoate grafietoplossingen die innovatie in de verwerking van halfgeleiders stimuleren en betrouwbare prestaties garanderen in alle MOCVD-gerelateerde toepassingen.

VET Energy is de echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz., Kan verschillende op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.

Ons technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan meer professionele materiaaloplossingen voor u bieden.

We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om meer geavanceerde materialen te leveren, en hebben een exclusieve gepatenteerde technologie uitgewerkt die de hechting tussen de coating en het substraat strakker kan maken en minder snel loslaat.

Heten u van harte welkom om onze fabriek te bezoeken, laten we verder discussiëren!