vet-चीनले प्रत्येक टिकाउ सुनिश्चित गर्दछसिलिकन कार्बाइड वेफर ह्यान्डलिंग प्याडलउत्कृष्ट प्रदर्शन र स्थायित्व छ। यो सिलिकन कार्बाइड वेफर ह्यान्डलिंग प्याडलले यसको संरचनात्मक स्थिरता र कार्यक्षमता उच्च तापमान र रासायनिक जंग वातावरणमा रहन्छ भनेर सुनिश्चित गर्न उन्नत निर्माण प्रक्रियाहरू प्रयोग गर्दछ। यो अभिनव डिजाइनले अर्धचालक वेफर ह्यान्डलिङको लागि उत्कृष्ट समर्थन प्रदान गर्दछ, विशेष गरी उच्च-परिशुद्धता स्वचालित सञ्चालनहरूको लागि।
SiC Cantilever प्याडलसेमीकन्डक्टर उत्पादन उपकरणहरूमा प्रयोग हुने एक विशेष कम्पोनेन्ट हो जस्तै अक्सिडेशन फर्नेस, डिफ्युजन फर्नेस, र एनेलिङ फर्नेस, मुख्य प्रयोग वेफर लोडिङ र अनलोडिङ, उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा वेफरहरूलाई समर्थन र यातायातका लागि हो।
साझा संरचनाहरूकोSiCcएन्टिलिभरpaddle: एउटा क्यान्टिलभर संरचना, एक छेउमा स्थिर र अर्कोमा नि: शुल्क, सामान्यतया फ्ल्याट र प्याडल जस्तो डिजाइन हुन्छ।
काम गर्दैpसिद्धान्तकोSiCcएन्टिलिभरpaddle:
क्यान्टिलिभर प्याडल फर्नेस च्याम्बर भित्र माथि र तल वा अगाडि र पछाडि सार्न सक्छ, यो लोडिङ क्षेत्रहरूबाट प्रशोधन क्षेत्रहरूमा वा प्रशोधन क्षेत्रहरू बाहिर, उच्च-तापमान प्रशोधनको समयमा वेफरहरूलाई समर्थन र स्थिर गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ।
रिक्रिस्टलाइज्ड सिलिकन कार्बाइडको भौतिक गुणहरू | |
सम्पत्ति | सामान्य मान |
काम गर्ने तापमान (°C) | 1600°C (अक्सिजन सहित), 1700°C (वातावरण घटाउने) |
SiC सामग्री | > 99.96% |
नि: शुल्क Si सामग्री | < ०.१% |
बल्क घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
स्पष्ट porosity | <16% |
कम्प्रेसन बल | > 600 MPa |
चिसो झुकाउने शक्ति | 80-90 MPa (20°C) |
तातो झुकाउने शक्ति | 90-100 MPa (1400°C) |
थर्मल विस्तार @1500°C | ४.७० १०-6/°C |
थर्मल चालकता @1200°C | २३ W/m•K |
लोचदार मोड्युलस | 240 GPa |
थर्मल झटका प्रतिरोध | अति राम्रो |