1. सफाई गर्नु अघि स्वीकृति
1) जबPECVD ग्रेफाइट डुङ्गा/वाहक 100 देखि 150 पटक भन्दा बढी प्रयोग गरिन्छ, अपरेटरले समय मा कोटिंग अवस्था जाँच गर्न आवश्यक छ। यदि त्यहाँ असामान्य कोटिंग छ भने, यसलाई सफा र पुष्टि गर्न आवश्यक छ। ग्रेफाइट डुङ्गा/वाहकमा सिलिकन वेफरको सामान्य कोटिंग रंग नीलो हो। यदि वेफरमा गैर-नीलो, धेरै रङहरू छन्, वा वेफरहरू बीचको रङ भिन्नता ठूलो छ भने, यो असामान्य कोटिंग हो, र असामान्यताको कारण समयमै पुष्टि गर्न आवश्यक छ।
२) प्रक्रिया पछि कर्मचारीहरूले कोटिंग अवस्थाको विश्लेषण गर्छन्PECVD ग्रेफाइट डुङ्गा/वाहक, तिनीहरूले ग्रेफाइट डुङ्गा सफा गर्न आवश्यक छ कि छैन र कार्ड पोइन्ट बदल्न आवश्यक छ कि भनेर निर्धारण गर्नेछ, र ग्रेफाइट डुङ्गा/वाहक जो सफा गर्न आवश्यक छ सफाईको लागि उपकरण कर्मचारीहरूलाई हस्तान्तरण गरिनेछ।
3) पछिग्रेफाइट डुङ्गा/वाहक क्षतिग्रस्त छ, उत्पादन कर्मचारीहरूले ग्रेफाइट डुङ्गामा सबै सिलिकन वेफरहरू निकाल्नेछन् र सीडीए (कम्प्रेस्ड एयर) प्रयोग गर्नेछन्।ग्रेफाइट डुङ्गा। पूरा भएपछि, उपकरण कर्मचारीहरूले यसलाई एसिड ट्यांकमा लिनेछन् जुन सफाईको लागि HF समाधानको निश्चित अनुपातमा तयार गरिएको छ।
2. ग्रेफाइट डुङ्गा को सफाई
15-25% हाइड्रोफ्लोरिक एसिडको तीन राउन्ड सफाईको लागि, प्रत्येक 4-5 घण्टाको लागि, र आवधिक रूपमा भिजाउने र सफा गर्ने प्रक्रियामा नाइट्रोजन बबल गर्ने, लगभग आधा घण्टाको सफाई थप्न सिफारिस गरिन्छ; नोट: बबलिङको लागि ग्यासको स्रोतको रूपमा हावा सीधा प्रयोग गर्न सिफारिस गरिएको छैन। अचार पछि, लगभग 10 घण्टाको लागि शुद्ध पानीले कुल्ला, र डुङ्गा राम्ररी सफा गरिएको छ भनेर पुष्टि गर्नुहोस्। सफा गरिसकेपछि, कृपया डुङ्गाको सतह, ग्रेफाइट कार्ड पोइन्ट र डुङ्गाको पानाको जोइन्ट, र अन्य भागहरू जाँच गर्नुहोस् कि त्यहाँ कुनै सिलिकन नाइट्राइड अवशेष छ कि छैन। त्यसपछि आवश्यकता अनुसार सुकाउनुहोस्।
3. सफाई सावधानीहरू
A) HF एसिड एक अत्यधिक संक्षारक पदार्थ हो र एक निश्चित अस्थिरता छ, यो अपरेटरहरूको लागि खतरनाक छ। तसर्थ, सफाई पोष्टमा अपरेटरहरूले सुरक्षा सावधानीहरू लिनुपर्दछ र एक समर्पित व्यक्तिद्वारा व्यवस्थित हुनुपर्छ।
B) डुङ्गालाई छुट्याउन र सफा गर्दा ग्रेफाइटको भाग मात्र सफा गर्न सिफारिस गरिन्छ, ताकि प्रत्येक सम्पर्क भागलाई अझ राम्ररी सफा गर्न सकिन्छ। हाल, धेरै घरेलु निर्माताहरूले समग्र सफाई प्रयोग गर्छन्, जुन सुविधाजनक छ, तर HF एसिड सिरेमिक भागहरूमा संक्षारक भएकोले, समग्र सफाईले सम्बन्धित भागहरूको सेवा जीवनलाई छोटो पार्छ।
पोस्ट समय: डिसेम्बर-23-2024