सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

पशु चिकित्सक-चीनसिलिकन कार्बाइड सिरेमिककोटिंग एक उच्च-प्रदर्शन सुरक्षात्मक कोटिंग हो जुन अत्यन्त कडा र पहिरन-प्रतिरोधी बनाइएको छसिलिकन कार्बाइड (SiC)सामग्री, जसले उत्कृष्ट रासायनिक जंग प्रतिरोध र उच्च-तापमान स्थिरता प्रदान गर्दछ। यी विशेषताहरू अर्धचालक उत्पादनमा महत्त्वपूर्ण छन्, त्यसैलेसिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगसेमीकन्डक्टर उत्पादन उपकरणको मुख्य भागहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

Vet-चीन को विशिष्ट भूमिकासिलिकन कार्बाइड सिरेमिकअर्धचालक उत्पादनमा कोटिंग निम्नानुसार छ:

उपकरणको स्थायित्व बढाउनुहोस्:सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगले यसको अत्यधिक उच्च कठोरता र पहिरन प्रतिरोधको साथ अर्धचालक निर्माण उपकरणहरूको लागि उत्कृष्ट सतह सुरक्षा प्रदान गर्दछ। विशेष गरी उच्च-तापमान र अत्यधिक संक्षारक प्रक्रिया वातावरणहरूमा, जस्तै रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) र प्लाज्मा नक्काशी, कोटिंगले प्रभावकारी रूपमा उपकरणको सतहलाई रासायनिक क्षरण वा भौतिक पहिरनले क्षतिग्रस्त हुनबाट रोक्न सक्छ, जसले गर्दा यसको सेवा जीवन उल्लेखनीय रूपमा विस्तार हुन्छ। बारम्बार प्रतिस्थापन र मर्मतको कारणले गर्दा उपकरण र डाउनटाइम घटाउने।

प्रक्रिया शुद्धता सुधार:अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा, सानो प्रदूषणले उत्पादन दोषहरू निम्त्याउन सक्छ। सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगको रासायनिक जडताले यसलाई चरम परिस्थितिहरूमा स्थिर रहन अनुमति दिन्छ, सामग्रीलाई कण वा अशुद्धताहरू छोड्नबाट रोक्छ, जसले गर्दा प्रक्रियाको वातावरणीय शुद्धता सुनिश्चित हुन्छ। यो विशेष गरी PECVD र आयन प्रत्यारोपण जस्ता उच्च परिशुद्धता र उच्च सरसफाइ आवश्यक पर्ने निर्माण चरणहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छ।

थर्मल व्यवस्थापन अनुकूलन गर्नुहोस्:उच्च-तापमान अर्धचालक प्रशोधनमा, जस्तै द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) र अक्सिडेशन प्रक्रियाहरूमा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगको उच्च थर्मल चालकताले उपकरण भित्र समान तापक्रम वितरणलाई सक्षम बनाउँछ। यसले तापक्रमको उतार चढावको कारणले हुने थर्मल तनाव र सामग्रीको विकृतिलाई कम गर्न मद्दत गर्छ, जसले गर्दा उत्पादनको उत्पादनको शुद्धता र स्थिरतामा सुधार हुन्छ।

जटिल प्रक्रिया वातावरण समर्थन:ICP नक्काशी र PSS नक्काशी प्रक्रियाहरू जस्ता जटिल वायुमण्डल नियन्त्रण आवश्यक पर्ने प्रक्रियाहरूमा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगको स्थिरता र अक्सीकरण प्रतिरोधले उपकरणले दीर्घकालीन सञ्चालनमा स्थिर कार्यसम्पादन कायम राख्छ भनी सुनिश्चित गर्दछ, सामग्रीको ह्रास वा उपकरणको क्षतिको जोखिम कम गर्दछ। वातावरणीय परिवर्तनहरु को लागी।