उन्नतSiC Cantilever प्याडलvet-china द्वारा बनाईएको वेफर प्रशोधनको लागि अर्धचालक निर्माणको लागि उत्कृष्ट समाधान प्रदान गर्दछ। यो क्यान्टिलिभर प्याडल SiC (सिलिकन कार्बाइड) सामग्रीबाट बनेको छ, र यसको उच्च कठोरता र गर्मी प्रतिरोधले यसलाई उच्च तापमान र संक्षारक वातावरणमा उत्कृष्ट प्रदर्शन कायम राख्न सक्षम गर्दछ। क्यान्टिलिभर प्याडलको डिजाइनले वेफरलाई प्रशोधनको क्रममा विश्वसनीय रूपमा समर्थन गर्न अनुमति दिन्छ, खण्डीकरण र क्षतिको जोखिम कम गर्दछ।
SiC Cantilever प्याडलसेमीकन्डक्टर उत्पादन उपकरणहरूमा प्रयोग हुने एक विशेष कम्पोनेन्ट हो जस्तै अक्सिडेशन फर्नेस, डिफ्युजन फर्नेस, र एनेलिङ फर्नेस, मुख्य प्रयोग वेफर लोडिङ र अनलोडिङ, उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा वेफरहरूलाई समर्थन र यातायातका लागि हो।
साझा संरचनाहरूकोSiCcएन्टिलिभरpaddle: एउटा क्यान्टिलभर संरचना, एक छेउमा स्थिर र अर्कोमा नि: शुल्क, सामान्यतया फ्ल्याट र प्याडल जस्तो डिजाइन हुन्छ।
VET Energy ले गुणस्तरको ग्यारेन्टी गर्नको लागि उच्च शुद्धता पुनःक्रिस्टलाइज्ड सिलिकन कार्बाइड सामग्रीहरू प्रयोग गर्दछ।
| रिक्रिस्टलाइज्ड सिलिकन कार्बाइडको भौतिक गुणहरू | |
| सम्पत्ति | सामान्य मान |
| काम गर्ने तापमान (°C) | 1600°C (अक्सिजन सहित), 1700°C (वातावरण घटाउने) |
| SiC सामग्री | > 99.96% |
| नि: शुल्क Si सामग्री | < ०.१% |
| बल्क घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
| स्पष्ट porosity | <16% |
| कम्प्रेसन बल | > 600MPa |
| चिसो झुकाउने शक्ति | 80-90 MPa (20°C) |
| तातो झुकाउने शक्ति | 90-100 MPa (1400°C) |
| थर्मल विस्तार @1500°C | ४.७० १०-6/°C |
| थर्मल चालकता @1200°C | २३W/m•K |
| लोचदार मोड्युलस | 240 GPa |
| थर्मल झटका प्रतिरोध | अति राम्रो |
वेफर प्रशोधनका लागि VET Energy को Advanced SiC Cantilever Paddle का फाइदाहरू हुन्:
- उच्च तापमान स्थिरता: 1600 डिग्री सेल्सियस भन्दा माथिको वातावरणमा प्रयोग गर्न सकिन्छ;
-कम थर्मल विस्तार गुणांक: आयामी स्थिरता कायम राख्छ, वेफर वारपेज जोखिम कम गर्दछ;
-उच्च शुद्धता: धातु प्रदूषण को कम जोखिम;
-रासायनिक जडता: जंग प्रतिरोधी, विभिन्न ग्यास वातावरणको लागि उपयुक्त;
-उच्च शक्ति र कठोरता: पहिरन-प्रतिरोधी, लामो सेवा जीवन;
- राम्रो थर्मल चालकता: समान वेफर तताउन मद्दत गर्दछ।
