1. SiC crystal ကြီးထွားမှုနည်းပညာလမ်းကြောင်း PVT (sublimation method), HTCVD (high temperature CVD), LPE (liquid phase method) သည် ဘုံ SiC crystal ကြီးထွားမှုနည်းလမ်းသုံးမျိုးဖြစ်သည်။ စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အထင်ရှားဆုံးနည်းလမ်းမှာ PVT နည်းလမ်းဖြစ်ပြီး SiC တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲများ၏ 95% ကျော်ကို PVT မှ စိုက်ပျိုးထားသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါ