1. သန့်ရှင်းရေးမလုပ်ခင် အသိအမှတ်ပြုပေးပါ။
1) ဘယ်အချိန်PECVD ဖိုက်တာလှေ/carrier သည် အကြိမ် 100 မှ 150 ထက်ပိုအသုံးပြုသည်၊ operator သည် coating condition ကို အချိန်မီစစ်ဆေးရန်လိုအပ်ပါသည်။ ပုံမှန်မဟုတ်သော အပေါ်ယံအလွှာတစ်ခု ရှိနေပါက၊ ၎င်းကို သန့်စင်ပြီး အတည်ပြုရန် လိုအပ်သည်။ ဂရပ်ဖိုက်လှေ/သယ်ဆောင်သူရှိ ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ ပုံမှန်အပေါ်ယံအရောင်မှာ အပြာရောင်ဖြစ်သည်။ wafer တွင် အပြာမဟုတ်သော၊ အရောင်မျိုးစုံ သို့မဟုတ် wafers များကြားရှိ အရောင်ကွာခြားမှုသည် ကြီးမားပါက၊ ၎င်းသည် ပုံမှန်မဟုတ်သော အပေါ်ယံလွှာဖြစ်ပြီး မူမမှန်သည့်အကြောင်းရင်းကို အချိန်မီ အတည်ပြုရန် လိုအပ်ပါသည်။
2) လုပ်ငန်းစဉ်ပြီးနောက် ၀ န်ထမ်းများသည် coating အခြေအနေကိုခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာပါ။PECVD ဖိုက်တာလှေ/carrier၊ ၎င်းတို့သည် ဂရပ်ဖိုက်လှေအား သန့်စင်ရန် လိုအပ်ခြင်း ရှိ၊ မရှိ၊ ကတ်ပွိုင့်ကို အစားထိုးရန် လိုအပ်ခြင်း ရှိမရှိ ဆုံးဖြတ်ပေးမည်ဖြစ်ပြီး၊ သန့်စင်ရန် လိုအပ်သော ဂရပ်ဖိုက်လှေ/ကယ်ရီယာအား သန့်ရှင်းရေးအတွက် စက်ပစ္စည်းများ လွှဲပြောင်းပေးအပ်မည်ဖြစ်သည်။
3) ပြီးနောက်ဖိုက်တာလှေ/carrier ပျက်စီးသွားသည်၊ ထုတ်လုပ်ရေးဝန်ထမ်းများသည် ဂရပ်ဖိုက်လှေအတွင်းရှိ ဆီလီကွန် wafers အားလုံးကို ထုတ်ယူပြီး အပိုင်းအစများကို ခွဲထုတ်ရန်အတွက် CDA (compressed air) ကို အသုံးပြုမည်ဖြစ်သည်။ဖိုက်တာလှေ. ပြီးစီးပြီးနောက်၊ သန့်ရှင်းရေးအတွက် HF ဖြေရှင်းချက် အချိုးအစားအလိုက် ပြင်ဆင်ထားသော အက်ဆစ်ကန်ထဲသို့ စက်ပစ္စည်းဝန်ထမ်းများက ၎င်းကို လွှင့်တင်မည်ဖြစ်သည်။
2. ဖိုက်တာလှေသန့်ရှင်းရေး
သန့်ရှင်းရေးသုံးကြိမ်အတွက် 15-25% ဟိုက်ဒရိုဖလိုရစ်အက်ဆစ်ရည်ကို သုံးကြိမ်စီ၊ တစ်ကြိမ်လျှင် 4-5 နာရီကြာ၊ စိမ်ပြီး သန့်ရှင်းရေးလုပ်စဉ်အတွင်း နိုက်ထရိုဂျင်ကို အခါအားလျော်စွာ ပွက်ပွက်ဆူအောင်ပြုလုပ်ကာ နာရီဝက်ခန့် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ပါ။ မှတ်ချက်- ပွက်ပွက်ဆူနေသော ဓာတ်ငွေ့အရင်းအမြစ်အဖြစ် လေကို တိုက်ရိုက်အသုံးပြုရန် မအကြံပြုပါ။ ချဉ်ပြီးနောက် ၁၀ နာရီခန့်ကြာအောင် ရေသန့်သန့်ဖြင့် ဆေးကြောပြီး လှေကို သေချာစွာ သန့်စင်ထားကြောင်း အတည်ပြုပါ။ သန့်စင်ပြီးနောက်၊ သင်္ဘော၏မျက်နှာပြင်၊ ဂရပ်ဖိုက်ကတ်အမှတ်နှင့် သင်္ဘောစာရွက်အဆစ်နှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများကို ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်အကြွင်းအကျန်ရှိမရှိ စစ်ဆေးပါ။ ထို့နောက် လိုအပ်ချက်အရ အခြောက်ခံပါ။
3. သန့်ရှင်းရေးသတိထားပါ။
က) HF အက်ဆစ်သည် အလွန်အမင်း အဆိပ်သင့်သည့် အရာဖြစ်ပြီး မတည်ငြိမ်မှုတစ်ခုကြောင့်၊ အော်ပရေတာများအတွက် အန္တရာယ်ရှိသည်။ ထို့ကြောင့် သန့်ရှင်းရေးဌာနမှ အော်ပရေတာများသည် ဘေးကင်းစေရန် ကြိုတင်ကာကွယ်မှုများ ပြုလုပ်ရမည်ဖြစ်ပြီး သီးသန့်လူတစ်ဦးမှ စီမံခန့်ခွဲရမည်ဖြစ်သည်။
ခ) သင်္ဘောကို ဖြုတ်တပ်ပြီး သန့်ရှင်းရေးလုပ်နေစဉ်အတွင်း ဂရပ်ဖိုက်အပိုင်းကိုသာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန် အကြံပြုထားသောကြောင့် အဆက်အသွယ် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုစီကို ပိုမိုသေချာစွာ သန့်စင်နိုင်စေပါသည်။ လက်ရှိတွင် ပြည်တွင်းထုတ်လုပ်သူအများအပြားသည် အလုံးစုံသန့်ရှင်းရေးကို အသုံးပြု၍ အဆင်ပြေသော်လည်း HF အက်ဆစ်သည် ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများကို အဆိပ်ဖြစ်စေသောကြောင့်၊ အလုံးစုံသန့်ရှင်းရေးသည် သက်ဆိုင်ရာအစိတ်အပိုင်းများ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုစေမည်ဖြစ်သည်။
စာတိုက်အချိန်- ဒီဇင်ဘာ-၂၃-၂၀၂၄