Barisan produk VET Energy tidak terhad kepada GaN pada wafer SiC. Kami juga menyediakan pelbagai jenis bahan substrat semikonduktor, termasuk Wafer Si, Substrat SiC, Wafer SOI, Substrat SiN, Wafer Epi, dll. Selain itu, kami juga sedang giat membangunkan bahan semikonduktor celah jalur lebar baharu, seperti Gallium Oxide Ga2O3 dan AlN Wafer, untuk memenuhi permintaan industri elektronik kuasa masa depan untuk peranti berprestasi tinggi.
VET Energy menyediakan perkhidmatan penyesuaian yang fleksibel, dan boleh menyesuaikan lapisan epitaxial GaN dengan ketebalan yang berbeza, jenis doping yang berbeza dan saiz wafer yang berbeza mengikut keperluan khusus pelanggan. Selain itu, kami juga menyediakan sokongan teknikal profesional dan perkhidmatan selepas jualan untuk membantu pelanggan membangunkan peranti elektronik kuasa berprestasi tinggi dengan cepat.
SPESIFIKASI WAFERING
*n-Pm=n-jenis Pm-Gred,n-Ps=n-jenis Ps-Gred,Sl=Separa penebat
item | 8-inci | 6-inci | 4-inci | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Nilai Mutlak | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Tepi Wafer | Beveling |
KEMASAN PERMUKAAN
*n-Pm=n-jenis Pm-Gred,n-Ps=n-jenis Ps-Gred,Sl=Separa penebat
item | 8-inci | 6-inci | 4-inci | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Kemasan Permukaan | Penggilap Optik sisi dua, Si- Muka CMP | ||||
Kekasaran Permukaan | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Kerepek Tepi | Tiada Dibenarkan (panjang dan lebar≥0.5mm) | ||||
Inden | Tiada Dibenarkan | ||||
Calar (Si-Muka) | Kuantiti.≤5,Kumulatif | Kuantiti.≤5,Kumulatif | Kuantiti.≤5,Kumulatif | ||
retak | Tiada Dibenarkan | ||||
Pengecualian Edge | 3mm |