Bot Wafer Silicon Carbide Terhablur Semula Dengan Salutan CVD

Sifat silikon karbida terhablur semula

Karbida silikon terhablur semula (R-SiC) ialah bahan berprestasi tinggi dengan kekerasan kedua selepas berlian, yang terbentuk pada suhu tinggi melebihi 2000 ℃. Ia mengekalkan banyak sifat SiC yang sangat baik, seperti kekuatan suhu tinggi, rintangan kakisan yang kuat, rintangan pengoksidaan yang sangat baik, rintangan kejutan haba yang baik dan sebagainya.

● Sifat mekanikal yang sangat baik. Karbida silikon terhablur semula mempunyai kekuatan dan kekakuan yang lebih tinggi daripada gentian karbon, rintangan hentaman tinggi, boleh memainkan prestasi yang baik dalam persekitaran suhu yang melampau, boleh memainkan prestasi pengimbang yang lebih baik dalam pelbagai situasi. Di samping itu, ia juga mempunyai fleksibiliti yang baik dan tidak mudah rosak oleh regangan dan lenturan, yang sangat meningkatkan prestasinya.

● Rintangan kakisan yang tinggi. Karbida silikon terhablur semula mempunyai rintangan kakisan yang tinggi kepada pelbagai media, boleh menghalang hakisan pelbagai media menghakis, boleh mengekalkan sifat mekanikalnya untuk masa yang lama, mempunyai lekatan yang kuat, supaya ia mempunyai hayat perkhidmatan yang lebih lama. Di samping itu, ia juga mempunyai kestabilan haba yang baik, boleh menyesuaikan diri dengan julat tertentu perubahan suhu, meningkatkan kesan penggunaannya.

● Pensinteran tidak mengecut. Oleh kerana proses pensinteran tidak mengecut, tiada tegasan sisa akan menyebabkan ubah bentuk atau keretakan produk, dan bahagian dengan bentuk kompleks dan ketepatan tinggi boleh disediakan.