Буре суцептор за течна фаза епитаксија LPE
ЕПИ (епитаксија)е критичен процес во производството на напредни полупроводници. Тоа вклучува таложење на тенки слоеви материјал на подлогата за да се создадат сложени структури на уреди. Обложена со SiC графит сензор за EPI вообичаено се користи како чувствител во EPI реакторите поради нивната одлична топлинска спроводливост и отпорност на високи температури. СоCVD-SiC облога, станува поотпорен на контаминација, ерозија и термички шок. Ова резултира со подолг животен век на сусцепторот и подобрен квалитет на филмот.
Предности на нашиот буре сенцептор за течна фаза епитаксија LPE:
Намалена контаминација:Инертната природа на SiC го спречува прилепувањето на нечистотиите на површината на чувствителноста, намалувајќи го ризикот од контаминација на депонираните филмови.
Зголемена отпорност на ерозија:SiC е значително поотпорен на ерозија од конвенционалниот графит, што доведува до подолг животен век на сусцепторот.
Подобрена термичка стабилност:SiC има одлична топлинска спроводливост и може да издржи високи температури без значително изобличување.
Подобрен квалитет на филмот:Подобрената термичка стабилност и намалената контаминација резултираат со поквалитетни депонирани филмови со подобрена униформност и контрола на дебелината.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd е високотехнолошка компанија која се фокусира на производство и продажба на напредни материјали од висока класа, материјали и технологија вклучувајќи графит, силициум карбид, керамика, површинска обработка како SiC слој, TaC слој, стаклен јаглерод облога, пиролитички јаглероден слој, итн., Овие производи се широко користени во фотоволтаични, полупроводници, нова енергија, металургија итн.
Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции и имаат развиено повеќе патентирани технологии за да обезбедат перформанси и квалитет на производот, а исто така може да им обезбеди на клиентите професионални решенија за материјали.
Срдечно ви посакуваме добредојде да ја посетите нашата лабораторија и фабрика за техничка дискусија и соработка!