Епитаксијален Епи графит барел чувствител

Епитаксијален Епи графит барел чувствител

Епитаксијален Епи графит барел чувствителе специјално дизајниран уред за поддршка и загревање кој се користи за држење и загревање на полупроводничките подлоги за време на производните процеси како што се процесите на таложење или епитаксија.

Неговата структура вклучува типично цилиндрични или малку буре во форма, површинските карактеристики повеќекратни џебови или платформи за поставување на наполитанките, може да бидат цврсти или шупливи, во зависност од методот на загревање.

Главните функции на епитаксијалниот сензор за буре:

-Поддржување на подлогата: безбедно држи повеќе полупроводнички наполитанки;
-Извор на топлина: обезбедува високи температури потребни за раст преку загревање;
-Еднообразност на температурата: обезбедува рамномерно загревање на подлогите;
-Ротација: обично се ротира за време на растот за да се подобри температурата и униформноста на дистрибуцијата на гасот.

Принцип на работа на сензорот за буре од графит Epi:
- Во епитаксијалниот реактор, сензорот на бурето се загрева до потребната температура (обично 1000℃-1200℃ за силициумска епитаксија);
-Степторот на бурето се ротира за да обезбеди рамномерна распределба на температурата и проток на гас;
- Реакционите гасови се распаѓаат на високи температури, формирајќи епитаксијални слоеви на површината на подлогата.

Апликации:
-Првенствено се користи за силиконски епитаксијален раст
- Исто така, применливо за епитаксија на други полупроводнички материјали како GaAs, InP, итн.

VET Energy користи графит со висока чистота со CVD-SiC слој за подобрување на хемиската стабилност:

Предностите на VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:

-Стабилност на високи температури;
-Добра топлинска униформност;
-Може да обработува повеќе супстрати истовремено, подобрувајќи ја ефикасноста на производството;
-Хемиски инертен, одржувајќи средина за раст со висока чистота.