Ko te VET Energy GaN i runga i te Silicon Wafer he otinga semiconductor tapahi-mata i hangaia mo nga tono reo irirangi (RF). Na roto i te whakatipu epitaxially teitei gallium nitride (GaN) i runga i te tïpako silicon, ka tukuna e VET Energy he papaaa utu whai hua me te tino mahi mo te tini o nga taputapu RF.
Ko tenei GaN i runga i te Silicon wafer he hototahi me etahi atu rawa penei i te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, me te SiN Substrate, e whakawhānui ana i tona whaihua mo nga momo mahi hanga. I tua atu, he pai ake mo te whakamahi me te Epi Wafer me nga rauemi matatau penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, e whakarei ake ana i ana tono ki nga hiko hiko-kaha. Ko nga wafers i hangaia mo te whakauru korekore ki roto i nga punaha whakangao ma te whakamahi i te whakahaere rīpene paerewa mo te ngawari o te whakamahi me te whakapiki ake i te pai o te whakaputa.
Ko te VET Energy e tuku he kopaki matawhānui o nga taputapu hikohiko, tae atu ki a Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, me AlN Wafer. Ko ta maatau raina hua kanorau e whakatutuki ana i nga hiahia o nga momo tono hiko, mai i te hiko hiko ki te RF me te optoelectronics.
Ko te GaN i runga i te Silicon Wafer he maha nga painga mo nga tono RF:
• Mahinga auau teitei:Ko te whanui whanui me te hikohiko hiko teitei o GaN ka taea te mahi auau-nui, he pai mo te 5G me etahi atu punaha whakawhitiwhiti tere.
• kiato mana teitei:Ka taea e nga taputapu GaN te hapai i nga kiato hiko teitei ake ka whakaritea ki nga taputapu-a-kirika tuku iho, ka nui ake nga punaha RF kiato me te pai.
• He iti te whakapau hiko:Ko nga taputapu GaN e whakaatu ana i te iti o te kai hiko, ka pai ake te kaha o te kaha me te whakaheke i te wera.
Nga tono:
• Whakawhitiwhiti ahokore 5G:He mea nui a GaN mo nga wafers Silicon mo te hanga i nga teihana turanga 5G me nga taputapu pūkoro.
• Pūnaha Radar:Ko nga whakakaha RF e ahu mai ana i te GaN e whakamahia ana i roto i nga punaha radar mo to raatau kaha me te whanui whanui.
• Whakawhitiwhiti amiorangi:Ka taea e nga taputapu GaN nga punaha korero amiorangi te hiko teitei me te auau teitei.
• Te hikohiko hōia:Ko nga waahanga RF e ahu mai ana i te GaN ka whakamahia ki nga tono hoia penei i te pakanga hiko me nga punaha radar.
Ka tukuna e te VET Energy te GaN i runga i nga wafers Silicon hei whakatutuki i o whakaritenga motuhake, tae atu ki nga taumata doping rereke, te matotoru, me nga rahi angiangi. Ka whakaratohia e to taatau roopu tohunga te tautoko hangarau me te ratonga muri-hoko hei whakarite i to angitu.
NGA WHAKAMAHI WAFERING
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-Inihi | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Tapa Wafer | Tirohanga |
MATA OTI
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-Inihi | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Whakaoti Mata | Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP | ||||
Te Roughness Mata | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Tipi Tipi | Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm) | ||||
Nuku | Kore e Whakaaetia | ||||
Nga karawarawa(Si-kanohi) | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | ||
Kapiti | Kore e Whakaaetia | ||||
Whakakorenga Tapa | 3mm |