GaN i runga Silicon Wafer mo RF

Whakaahuatanga Poto:

Ko te GaN i runga i te Silicon Wafer mo te RF, i whakaratohia e te VET Energy, i hangaia hei tautoko i nga tono reo irirangi teitei (RF). Ko enei wafers e whakakotahi ana i nga painga o Gallium Nitride (GaN) me Silicon (Si) ki te tuku i te pai o te kawe wera me te kaha o te kaha-kaha, he pai mo nga waahanga RF e whakamahia ana i roto i nga waea, radar, me nga punaha amiorangi. Ko te VET Energy ka whakarite kia tutuki ia wafer ki nga paerewa mahi teitei e hiahiatia ana mo te hanga semiconductor matatau.


Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te VET Energy GaN i runga i te Silicon Wafer he otinga semiconductor tapahi-mata i hangaia mo nga tono reo irirangi (RF). Na roto i te whakatipu epitaxially teitei gallium nitride (GaN) i runga i te tïpako silicon, ka tukuna e VET Energy he papaaa utu whai hua me te tino mahi mo te tini o nga taputapu RF.

Ko tenei GaN i runga i te Silicon wafer he hototahi me etahi atu rawa penei i te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, me te SiN Substrate, e whakawhānui ana i tona whaihua mo nga momo mahi hanga. I tua atu, he pai ake mo te whakamahi me te Epi Wafer me nga rauemi matatau penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, e whakarei ake ana i ana tono ki nga hiko hiko-kaha. Ko nga wafers i hangaia mo te whakauru korekore ki roto i nga punaha whakangao ma te whakamahi i te whakahaere rīpene paerewa mo te ngawari o te whakamahi me te whakapiki ake i te pai o te whakaputa.

Ko te VET Energy e tuku he kopaki matawhānui o nga taputapu hikohiko, tae atu ki a Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, me AlN Wafer. Ko ta maatau raina hua kanorau e whakatutuki ana i nga hiahia o nga momo tono hiko, mai i te hiko hiko ki te RF me te optoelectronics.

Ko te GaN i runga i te Silicon Wafer he maha nga painga mo nga tono RF:

       • Mahinga auau teitei:Ko te whanui whanui me te hikohiko hiko teitei o GaN ka taea te mahi auau-nui, he pai mo te 5G me etahi atu punaha whakawhitiwhiti tere.
     • kiato mana teitei:Ka taea e nga taputapu GaN te hapai i nga kiato hiko teitei ake ka whakaritea ki nga taputapu-a-kirika tuku iho, ka nui ake nga punaha RF kiato me te pai.
       • He iti te whakapau hiko:Ko nga taputapu GaN e whakaatu ana i te iti o te kai hiko, ka pai ake te kaha o te kaha me te whakaheke i te wera.

Nga tono:

       • Whakawhitiwhiti ahokore 5G:He mea nui a GaN mo nga wafers Silicon mo te hanga i nga teihana turanga 5G me nga taputapu pūkoro.
     • Pūnaha Radar:Ko nga whakakaha RF e ahu mai ana i te GaN e whakamahia ana i roto i nga punaha radar mo to raatau kaha me te whanui whanui.
   • Whakawhitiwhiti amiorangi:Ka taea e nga taputapu GaN nga punaha korero amiorangi te hiko teitei me te auau teitei.
     • Te hikohiko hōia:Ko nga waahanga RF e ahu mai ana i te GaN ka whakamahia ki nga tono hoia penei i te pakanga hiko me nga punaha radar.

Ka tukuna e te VET Energy te GaN i runga i nga wafers Silicon hei whakatutuki i o whakaritenga motuhake, tae atu ki nga taumata doping rereke, te matotoru, me nga rahi angiangi. Ka whakaratohia e to taatau roopu tohunga te tautoko hangarau me te ratonga muri-hoko hei whakarite i to angitu.

第6页-36
第6页-35

NGA WHAKAMAHI WAFERING

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi

8-Inihi

6-Inihi

4-Inihi

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV(GBIR)

≤6um

≤6um

Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Warp(GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Tapa Wafer

Tirohanga

MATA OTI

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi

8-Inihi

6-Inihi

4-Inihi

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Whakaoti Mata

Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP

Te Roughness Mata

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Mata Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-kanohi Ra≤0.5nm

Tipi Tipi

Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm)

Nuku

Kore e Whakaaetia

Nga karawarawa(Si-kanohi)

Qty.≤5, Huihuinga
Length≤0.5×wafer diameter

Qty.≤5, Huihuinga
Length≤0.5×wafer diameter

Qty.≤5, Huihuinga
Length≤0.5×wafer diameter

Kapiti

Kore e Whakaaetia

Whakakorenga Tapa

3mm

hangarau_1_2_rahi
下载 (2)

  • Tōmua:
  • Panuku:

  • WhatsApp Chat Online!