Me pehea te horoi PECVD graphite poti？| VET Energy

1. Te mihi i mua i te horoi

1) Ina tePoti graphite PECVDKa whakamahia e te kaikawe neke atu i te 100 ki te 150 nga wa, me tirotiro te kaiwhakahaere i te ahua o te paninga i te waa. Mena he paninga rereke, me horoi me te whakapumau. He kikorangi te tae whakakikorua o te angiangi silicon i roto i te poti / kaikawe kauwhata. Mena he kore-puru, he maha nga tae o te angiangi, he nui ranei te rereketanga o te tae i waenga i nga angiangi, he paninga rerekee, a me whakapumau te take o te rerekee i te waa.
2) I muri i te tukanga ka tātarihia e nga kaimahi te ahua o te paninga o tePoti graphite PECVD/ kaikawe, ma ratou e whakatau mehemea me horoi te poti kauwhata me te whakakapi i te tohu kaari, ka tukuna atu te poti/kaikawe graphite me horoi ki nga kaimahi taputapu hei horoi.

 

3) I muri i tepoti kauwhata/ kua pakaru te kaikawe, ka tangohia e nga kaimahi hanga nga angiangi katoa i roto i te poti kauwhata, ka whakamahi CDA (te hau whakakopeke) ki te wehewehe i nga kongakonga o tepoti kauwhata. I muri i te otinga, ka hikina e nga kaimahi taputapu ki roto i te taika waikawa kua oti te whakarite me tetahi waahanga o te otinga HF mo te horoi.

 

2. Te horoi i te poti kauwhata

E taunaki ana kia whakamahia he wairewa waikawa hydrofluoric 15-25% mo nga wahanga horoi e toru, ia mo te 4-5 haora, me te pupuhi hauota i ia wa i te wa o te whakamakuku me te horoi, me te taapiri mo te hawhe haora o te horoi; tuhipoka: kaore i te tūtohutia kia whakamahia te hau hei puna hau mo te pupuhi. I muri i te kohikohi, horoia ki te wai parakore mo te 10 haora, me te whakapumau kua tino horoia te poti. I muri i te horoinga, tirohia te mata o te poti, te tohu kaari kauwhata me te hononga rau poti, me etahi atu waahanga kia kite mena he toenga nitride silicon. Na ka maroke kia rite ki nga whakaritenga.

3. Whakatupatotanga horoi

A) I te mea ko te waikawa HF he matū tino pirau, he pähekeheke, he kino ki nga kaiwhakahaere. No reira, ko nga kaiwhakahaere o te pou horoi me whai waahi haumaru me te whakahaere e te tangata i whakatapua.

B) E taunaki ana kia wetewetehia te poti ka horoi noa i te wahanga graphite i te wa e horoi ana, kia tino pai ake te horoi o ia wahanga whakapiri. I tenei wa, he maha nga kaihanga o te kaainga e whakamahi ana i te horoi katoa, he pai, engari na te mea he kino te waikawa HF ki nga waahanga uku, ko te horoi katoa ka poto te oranga o nga waahanga e rite ana.