Ko te 6 Inch Semi Insulating SiC Wafer mai i te VET Energy he otinga matatau mo nga tono kaha-nui me te tere-tere, he pai ake te kawe i te waiariki me te whakamaarama hiko. He mea nui enei angiangi ahua-waitara mo te whanaketanga o nga taputapu penei i te whakakaha RF, nga huringa hiko, me etahi atu waahanga ngaohiko teitei. Ma te VET Energy e whakarite te kounga me te mahi, kia pai ai enei angiangi mo te whānuitanga o nga momo mahi hanga semiconductor.
I tua atu i o raatau taonga whakamaarama, he hototahi enei wafers SiC ki nga momo taonga tae atu ki te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, me te Epi Wafer, na reira ka whai waahi mo nga momo mahi whakangao. I tua atu, ka taea te whakamahi i nga rauemi matatau penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer me enei wafers SiC, ka nui ake te ngawari ki nga taputapu hiko-kaha. I hoahoatia nga angiangi mo te whakauru korekore ki nga punaha whakahaere paerewa-ahumahi penei i nga punaha Ripene, me te ngawari ki te whakamahi i nga waahi whakaputa papatipu.
Ko te VET Energy e tuku he kopaki matawhānui o nga taputapu hikohiko, tae atu ki a Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, me AlN Wafer. Ko ta maatau raina hua kanorau e whakatutuki ana i nga hiahia o nga momo tono hiko, mai i te hiko hiko ki te RF me te optoelectronics.
He maha nga painga o te angiangi SiC 6 inihi-a-whaawha:
Ngaohiko pakaru teitei: Ko te whanui whanui o te SiC ka taea nga ngaohiko pakaru teitei ake, ka taea e nga taputapu hiko kiato me te pai.
Te mahi i te pāmahana teitei: Ma te pai o te kawe waiariki a SiC ka taea te mahi i nga pāmahana teitei ake, te whakapai ake i te pono o te taputapu.
He iti te aukati: Ko nga taputapu SiC e whakaatu ana he iti ake te aukati, he whakaheke i te ngaronga hiko me te whakapai ake i te kaha o te kaha.
Ka tukuna e te VET Energy nga angiangi SiC kia rite ki o hiahia motuhake, tae atu ki nga momo matotoru, nga taumata doping, me nga whakaotinga mata. Ka whakaratohia e to taatau roopu tohunga te tautoko hangarau me te ratonga muri-hoko hei whakarite i to angitu.
NGA WHAKAMAHI WAFERING
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-inihi | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Tapa Wafer | Tirohanga |
MATA OTI
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-inihi | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Mata Mutu | Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP | ||||
Ruarua Mata | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Tipi Tipi | Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm) | ||||
Nuku | Kore e Whakaaetia | ||||
Nga karawarawa(Si-kanohi) | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | ||
Kapiti | Kore e Whakaaetia | ||||
Whakakorenga Tapa | 3mm |