Tuatahi, me mohio tatouPECVD(Plasma Enhanced Chemical Kohu Deposition). Ko te Plasma te kaha ake o te nekehanga wera o nga ngota ngota. Ko te tukinga i waenganui i a raatau ka maataki nga ngota ngota hau, ka uru te rauemi hei ranunga o nga katote pai, nga irahiko me nga matūriki kūpapa e pahekoheko ana tetahi ki tetahi.
E kiia ana ko te reiti mate whakaata o te marama i runga i te mata silicon he rite ki te 35%. Ka taea e te kiriata anti-whakaata te whakapai ake i te reiti whakamahi o te marama o te ra e te pūtau pākahiko, e awhina ana ki te whakanui ake i te kiato o naianei whakaahua me te whakapai ake i te pai o te huringa. I te wa ano, te hauwai i roto i te kiriata passivates te mata o te pūtau pākahiko, whakaiti i te auau recombination mata o te hononga emitter, whakaiti i te nāianei pouri, whakanui i te ngaohiko iahiko tuwhera, me te whakapai ake i te pai o te hurihanga photoelectric. Ko te whakamaaramatanga o te wera nui i roto i te mahi wera ka pakaru etahi here Si-H me te NH, a ko te H kua wetekina ka kaha ake te haere o te pākahiko.
I te mea he maha nga poke me nga koha o nga rawa-whakaahua-whakaahua, ka heke te oranga o te kaikawe iti me te roa o te whakamaarama i roto i te silicon, ka heke te kaha o te hurihanga o te pākahiko. Ka taea e H te tauhohe me nga koha, nga poke ranei i roto i te silicon, na reira ka whakawhiti i te roopu hiko i roto i te waahi ki roto i te roopu valence, i te roopu kawe ranei.
1. Tikanga PECVD
Ko te punaha PECVD he raupapa o nga kaihanga e whakamahi anaPoti graphite PECVD me nga kaiwhakatairanga plasma auau teitei. Ko te kaihanga plasma ka whakauruhia ki waenganui o te pereti paninga kia tauhohe i raro i te pehanga iti me te teitei o te pāmahana. Ko nga hau kaha e whakamahia ana ko te silane SiH4 me te haukini NH3. Ka mahi enei hau i runga i te nitride silicon kua rongoa ki runga i te wafer silicon. Ka taea te whiwhi i nga tohu rereke rereke ma te huri i te ōwehenga o te silane ki te haukinia. I te wa o te tukunga, he nui nga ngota hauwai me nga katote hauwai ka puta, ka tino pai te hauwai o te angiangi. I roto i te korehau me te pāmahana ambient o 480 nga nekehanga Celsius, ka pania he paparanga o SixNy ki runga i te mata o te angiangi silicon ma te whakahaere i tePoti graphite PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Ka huri te tae o te kiriata Si3N4 me tona matotoru. Ko te tikanga, ko te matotoru pai kei waenga i te 75 me te 80 nm, he puru pouri te ahua. He pai rawa atu te taupū whakaata o te kiriata Si3N4 i waenga i te 2.0 me te 2.5. I te nuinga o te wa ka whakamahia te waipiro ki te ine i tana taupae whakaata.
He pai te whakangao o te mata, he pai te mahi whakaahuru-whakaata whatu (whakarite tohu tohu tohutoro matotoru), he tukanga pāmahana iti (he whakaiti i nga utu), a ko nga katote H kua hangaia ka whakawhiti i te mata angiangi silicon.
3. Nga mea noa i te awheawhe whakakikorua
Te matotoru kiriata:
He rereke te wa whakatakoto mo nga momo matotoru o te kiriata. Me tika te whakanui ake, te whakaheke ranei i te wa tuku kia rite ki te tae o te paninga. Mena he maama te kiriata, me whakaitihia te wa tuku. Mena he whero, me tika te whakanui ake. Ko ia poti o nga kiriata me tino whakapumau, kaore e whakaaetia nga hua koha kia rere ki roto i nga mahi e whai ake nei. Hei tauira, mena he kino te paninga, penei i nga waahi tae me nga tohuwai, ko te maamaa o te mata o te mata, te rereke o te tae, me nga waahi ma i runga i te raina whakaputa me tango i te waa. Ko te maama o te mata ko te nuinga o te kiriata nitride silicon matotoru, ka taea te whakatika ma te whakatika i te waa whakatakoto kiriata; te kiriata rerekētanga tae te nuinga meinga e te ara hau blockage, kiripaka ngongo leakage, ngaruiti rahunga, etc .; ko nga wahi ma e te nuinga o nga wahi pango iti i roto i te tukanga o mua. Te aro turuki i te whakaataata, te taurangi whakaata, me era atu, te haumaru o nga hau motuhake, me era atu.
He wahi ma ki te mata:
Ko te PECVD he tukanga tino nui i roto i nga pūtau solar me te tohu nui mo te kaha o nga pūtau solar o te kamupene. He pukumahi te tukanga PECVD, a me aro turuki ia puranga o nga pūtau. He maha nga ngongo oumu paninga, me te tikanga he rau nga pūtau kei ia ngongo (i runga i nga taputapu). I muri i te huri i nga tawhā tukanga, he roa te huringa manatoko. Ko te hangarau whakakikorua he hangarau e honoa nuitia ana e te ahumahi photovoltaic katoa. Ka taea te whakapai ake i te kaha o nga pūtau solar ma te whakapai ake i te hangarau whakakikorua. I te wa kei te heke mai, ka taea e te hangarau o te mata o te mata o te ra te pakaru i roto i te pai o te whakaaro o nga pūtau solar.
Wā tuku: Tihema-23-2024