Vertikalios kolonos vaflių valtis ir pjedestalas

Trumpas aprašymas:

Vertical Column Wafer Boat & Pjedestalas iš vet-china siūlo puikų stabilumą ir tikslumą valdant plokšteles puslaidininkių gamyboje. Dėl pažangaus vet-china dizaino ši sistema užtikrina optimalų išlygiavimą ir saugų laikymą, padidindama veiklos efektyvumą ir sumažindama plokštelių pažeidimus.

Atsiųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

vet-china pristato novatorišką vertikalią koloną Wafer Boat & Pjedestalą – visapusišką pažangaus puslaidininkių apdorojimo sprendimą. Sukurta itin tiksliai, ši plokštelių tvarkymo sistema užtikrina neprilygstamą stabilumą ir išlygiavimą, o tai labai svarbu didelio efektyvumo gamybos aplinkoje.

Vertikalios kolonos vaflių valtis ir pjedestalas yra pagamintas iš aukščiausios kokybės medžiagų, kurios garantuoja šiluminį stabilumą ir atsparumą cheminei korozijai, todėl jis tinka reikliausiems puslaidininkių gamybos procesams. Unikali vertikalios kolonos konstrukcija patikimai palaiko plokšteles, sumažindama nesutapimo ir galimos žalos transportavimo ir apdorojimo metu riziką.

Integravę vet-china vertikalaus stulpelio „Wafer Boat“ ir „Pedestal“, puslaidininkių gamintojai gali tikėtis geresnio pralaidumo, sumažintos prastovos ir didesnės produkto išeigos. Ši sistema suderinama su įvairių dydžių ir konfigūracijų plokštelėmis, siūlanti lankstumą ir mastelį įvairiems gamybos poreikiams.

vet-china įsipareigojimas siekti meistriškumo užtikrina, kad kiekvienas vertikalios kolonos vaflių valtis ir pjedestalas atitiktų aukščiausius kokybės ir veikimo standartus. Pasirinkę šį pažangiausią sprendimą, investuojate į ateities metodą, skirtą plokštelių tvarkymui, kuris padidina puslaidininkių gamybos efektyvumą ir patikimumą.

Perkristalizuoto silicio karbido savybės

Perkristalizuotas silicio karbidas (R-SiC) yra aukštos kokybės medžiaga, kurios kietumas yra antras po deimanto, kuris susidaro aukštoje, aukštesnėje nei 2000 ℃ temperatūroje. Jis išlaiko daugybę puikių SiC savybių, tokių kaip atsparumas aukštai temperatūrai, stiprus atsparumas korozijai, puikus atsparumas oksidacijai, geras atsparumas šiluminiam smūgiui ir pan.

● Puikios mechaninės savybės. Perkristalizuotas silicio karbidas turi didesnį stiprumą ir standumą nei anglies pluoštas, didelis atsparumas smūgiams, gali gerai veikti esant ekstremalioms temperatūroms, gali atlikti geresnį atsvarą įvairiose situacijose. Be to, jis taip pat turi gerą lankstumą ir nėra lengvai pažeidžiamas tempiant ir lenkiant, o tai labai pagerina jo veikimą.

● Didelis atsparumas korozijai. Perkristalizuotas silicio karbidas pasižymi dideliu atsparumu įvairių terpių korozijai, gali užkirsti kelią įvairių korozinių terpių erozijai, gali ilgą laiką išlaikyti savo mechanines savybes, turi stiprų sukibimą, todėl tarnavimo laikas yra ilgesnis. Be to, jis taip pat turi gerą šiluminį stabilumą, gali prisitaikyti prie tam tikro temperatūros pokyčių diapazono, pagerinti jo taikymo poveikį.

● Sukepinus nesusitraukia. Kadangi sukepinimo procesas nesusitraukia, joks liekamasis įtempis nesukels gaminio deformacijos ar įtrūkimų, todėl galima paruošti sudėtingos formos ir didelio tikslumo dalis.

重结晶碳化硅物理特性 Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės
性质 / Turtas	典型数值 / Tipinė vertė
使用温度/ Darbinė temperatūra (°C)	1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka)
SiC含量/ SiC kiekis	> 99,96 %
自由Si含量/ Nemokamas Si turinys	< 0,1 %
体积密度/Tūrinis tankis	2,60-2,70 g/cm³
气孔率/ Tariamas poringumas	< 16 %
抗压强度/ Suspaudimo stiprumas	> 600MPa
常温抗弯强度/Šalto lenkimo stiprumas	80–90 MPa (20 °C)
高温抗弯强度Karštas lenkimo stiprumas	90–100 MPa (1400 °C)
热膨胀系数/ Šiluminis plėtimasis @1500°C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Šilumos laidumas @1200°C	23W/m•K
杨氏模量/ Tamprumo modulis	240 GPa
抗热震性/ Atsparumas šiluminiam smūgiui	Be galo geras

VET Energy yra įtikras individualių grafito ir silicio karbido gaminių su CVD danga gamintojas,gali tiektiįvairiųpritaikytos puslaidininkių ir fotovoltinės pramonės dalys. OJūsų techninė komanda ateina iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti profesionalesnius medžiagų sprendimustau.

Mes nuolat plėtojame pažangius procesus, kad galėtume teikti pažangesnes medžiagas,irsukūrė išskirtinę patentuotą technologiją, dėl kurios dangos ir pagrindo sukibimas tampa tvirtesnis ir mažiau linkęs atsiskirti.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga
性质 / Turtas	典型数值 / Tipinė vertė
晶体结构 / Kristalinė struktūra	FCC β fazė多晶，主要为（111）取向
密度 / Tankis	3,21 g/cm³
硬度 / Kietumas	2500 维氏硬度 (500 g apkrova)
晶粒大小 / Grūdų dydis	2 ~ 10 μm
纯度 / Cheminis grynumas	99,99995 %
热容 / Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lanksčioji jėga	415 MPa RT 4 taškų
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
导热系数 / ThermalLaidumas	300 W · m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Šiluminė plėtra (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1