Silicio karbido keraminės dangos šildytuvas

Vet-KinijaSilicio karbido keramikaCoating yra aukštos kokybės apsauginė danga, pagaminta iš ypač kietos ir atsparios dilimuisilicio karbidas (SiC)medžiaga, kuri užtikrina puikų atsparumą cheminei korozijai ir stabilumą aukštoje temperatūroje. Šios charakteristikos yra labai svarbios puslaidininkių gamyboje, todėlSilicio karbido keraminė dangayra plačiai naudojamas pagrindiniuose puslaidininkių gamybos įrangos komponentuose.

Specifinis Vet-China vaidmuoSilicio karbido keramikaDengimas puslaidininkių gamyboje yra toks:

Padidinkite įrangos patvarumą:Silicio karbido keraminė danga Silicio karbido keraminė danga užtikrina puikią puslaidininkių gamybos įrangos paviršiaus apsaugą, pasižyminti itin dideliu kietumu ir atsparumu dilimui. Ypač esant aukštai temperatūrai ir labai korozinėms procesų aplinkoms, tokioms kaip cheminis nusodinimas garais (CVD) ir ėsdinimas plazmoje, danga gali veiksmingai užkirsti kelią įrangos paviršiaus pažeidimui dėl cheminės erozijos ar fizinio nusidėvėjimo, taip žymiai pailginant įrenginio tarnavimo laiką. įrangą ir sumažinti prastovos laiką dėl dažno keitimo ir remonto.

Pagerinkite proceso grynumą:Puslaidininkių gamybos procese nedidelis užterštumas gali sukelti gaminio defektus. Silicio karbido keraminės dangos cheminis inertiškumas leidžia jai išlikti stabiliai ekstremaliomis sąlygomis, neleidžiant medžiagai išskirti dalelių ar nešvarumų, taip užtikrinant proceso aplinkosauginį grynumą. Tai ypač svarbu atliekant gamybos etapus, kuriems reikalingas didelis tikslumas ir didelis švarumas, pvz., PECVD ir jonų implantavimas.

Optimizuokite šilumos valdymą:Apdorojant puslaidininkius aukštoje temperatūroje, pavyzdžiui, greitojo terminio apdorojimo (RTP) ir oksidacijos procesuose, didelis silicio karbido keraminės dangos šilumos laidumas leidžia tolygiai paskirstyti temperatūrą įrangos viduje. Tai padeda sumažinti šiluminį įtempį ir medžiagos deformaciją, kurią sukelia temperatūros svyravimai, taip pagerinant gaminio gamybos tikslumą ir nuoseklumą.

Palaikykite sudėtingas proceso aplinkas:Atliekant procesus, kuriems reikalinga sudėtinga atmosferos kontrolė, pvz., ICP ėsdinimo ir PSS ėsdinimo procesai, silicio karbido keraminės dangos stabilumas ir atsparumas oksidacijai užtikrina, kad įranga išliktų stabili ilgalaikėje eksploatacijoje, todėl sumažėja medžiagos degradacijos ar įrangos sugadinimo rizika. į aplinkos pokyčius.