SiC padengta grafito pusmėnulio dalis, skirta silicio karbido epitaksinei įrangai

Trumpas aprašymas:

Produkto pristatymas ir naudojimas: Prijungtas kvarcinis vamzdis, gali praleisti dujas, kad būtų galima sukti padėklo pagrindą, kontroliuoti temperatūrą

Gaminio įrenginio vieta: reakcijos kameroje, be tiesioginio kontakto su plokštele

Pagrindiniai tolesni produktai: maitinimo įrenginiai

Pagrindinė terminalo rinka: naujos energetinės transporto priemonės

 


Produkto detalė

Produkto etiketės

SiC padengta grafito pusmėnulio dalisis a raktaskomponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač SiC epitaksinei įrangai.Mes naudojame savo patentuotą technologiją, kad pagamintume pusmėnulio dalįitin didelis grynumas,gerasdangavienodumasir puikus tarnavimo laikas, taip pataukštos cheminio atsparumo ir terminio stabilumo savybės.

VET Energy yra įtikras individualių grafito ir silicio karbido gaminių su CVD danga gamintojas,gali tiektiįvairiųpritaikytos puslaidininkių ir fotovoltinės pramonės dalys. OJūsų techninė komanda ateina iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti profesionalesnius medžiagų sprendimustau.

Mes nuolat plėtojame pažangius procesus, kad galėtume teikti pažangesnes medžiagas,irsukūrė išskirtinę patentuotą technologiją, dėl kurios dangos ir pagrindo sukibimas tampa tvirtesnis ir mažiau linkęs atsiskirti.

Fmūsų gaminių savybės:

1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1700.
2. Didelio grynumo irterminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

CVD SiC薄膜基本物理性能

Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga

性质 / Turtas

典型数值 / Tipinė vertė

晶体结构 / Kristalinė struktūra

FCC β fazė多晶,主要为(111)取向

密度 / Tankis

3,21 g/cm³

硬度 / Kietumas

2500 维氏硬度 (500 g apkrova)

晶粒大小 / Grūdų dydis

2 ~ 10 μm

纯度 / Cheminis grynumas

99,99995 %

热容 / Šilumos talpa

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimacijos temperatūra

2700 ℃

抗弯强度 / Lanksčioji jėga

415 MPa RT 4 taškų

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃

导热系数 / ThermalLaidumas

300 W · m-1·K-1

热膨胀系数 / Šiluminė plėtra (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime toliau!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Ankstesnis:
  • Kitas:

  • „WhatsApp“ internetinis pokalbis!