MOCVD grafito laikiklis su CVD SiC danga

Trumpas aprašymas:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor yra didelio našumo gaminys, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis turi ypač gerą atsparumą karščiui ir šiluminį vienodumą, aukštą grynumą, atsparumą erozijai, todėl yra puikus sprendimas plokštelių apdorojimui.

Atsiųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

SiC padengtas grafito susceptorius yra pagrindinis komponentas, naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose. Mes naudojame savo patentuotą technologiją, kad susceptorius būtų itin grynas, vienodas dangos ir puikiai tarnautų, taip pat pasižymi aukštu cheminiu atsparumu ir šiluminio stabilumo savybėmis.

Mūsų gaminių savybės:

1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1700 ℃.
2. Didelis grynumas ir šiluminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

CVD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga
性质 / Turtas	典型数值 / Tipinė vertė
晶体结构 / Kristalinė struktūra	FCC β fazė多晶，主要为（111）取向
密度 / Tankis	3,21 g/cm³
硬度 / Kietumas	2500 维氏硬度 (500 g apkrova)
晶粒大小 / Grūdų dydis	2 ~ 10 μm
纯度 / Cheminis grynumas	99,99995 %
热容 / Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lanksčioji jėga	415 MPa RT 4 taškų
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
导热系数 / ThermalLaidumas	300 W · m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Šiluminė plėtra (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

„VET Energy“ yra tikras pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių gamintojas su skirtingomis dangomis, tokiomis kaip SiC danga, TaC danga, stiklinė anglies danga, pirolitinė anglies danga ir kt., Gali tiekti įvairias pritaikytas dalis puslaidininkių ir fotovoltinės energijos pramonei.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnius medžiagų sprendimus.

Mes nuolat plėtojame pažangius procesus, kad gautume pažangesnes medžiagas, ir sukūrėme išskirtinę patentuotą technologiją, dėl kurios dangos ir pagrindo sujungimas tampa tvirtesnis ir mažiau linkęs atsiskirti.

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime toliau!