Statinės susceptorius, skirtas skystos fazės epitaksijos LPE

Vamzdis susceptorius skystos fazės epitaksijos LPE Teminis vaizdas

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ yra profesionalus skystosios fazės epitaksinės LPE statinės susceptoriaus gamintojas, tiekėjas ir eksportuotojas. Palaikoma nacionalinių tyrimų centrų ir pirmaujančių technologijų, VET Energy gali pasiūlyti jums aukštą kokybę už priimtiną kainą. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir toliau aptarti.

Atsiųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

Statinės susceptorius skystos fazės epitaksijos LPE

EPI (epitaksija)yra labai svarbus pažangių puslaidininkių gamybos procesas. Tai apima plonų medžiagos sluoksnių nusodinimą ant pagrindo, kad būtų sukurtos sudėtingos įrenginio struktūros. SiC dengti grafito statinės susceptoriai, skirti EPI, dažniausiai naudojami kaip susceptoriai EPI reaktoriuose dėl jų puikaus šilumos laidumo ir atsparumo aukštai temperatūrai. SuCVD-SiC danga, jis tampa atsparesnis užteršimui, erozijai ir šiluminiam šokui. Dėl to pailgėja susceptoriaus tarnavimo laikas ir pagerėja plėvelės kokybė.

Mūsų cilindrinio susceptoriaus, skirto skystos fazės epitaksijos LPE, pranašumai:
Sumažintas užterštumas:SiC inertiškumas neleidžia priemaišoms prilipti prie susceptoriaus paviršiaus, todėl sumažėja nusėdusių plėvelių užteršimo rizika.
Padidėjęs atsparumas erozijai:SiC yra žymiai atsparesnis erozijai nei įprastas grafitas, todėl susceptoriaus tarnavimo laikas yra ilgesnis.
Pagerintas terminis stabilumas:SiC turi puikų šilumos laidumą ir gali atlaikyti aukštą temperatūrą be didelių iškraipymų.
Patobulinta filmo kokybė:Dėl geresnio šiluminio stabilumo ir sumažėjusio užterštumo gaunamos aukštesnės kokybės nusodintos plėvelės, kurios pagerina vienodumą ir storio kontrolę.

Įmonės informacija

„Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd“ yra aukštųjų technologijų įmonė, kurios pagrindinis dėmesys skiriamas aukščiausios klasės pažangių medžiagų, medžiagų ir technologijų, įskaitant grafitą, silicio karbidą, keramiką, paviršiaus apdorojimą, pvz., SiC dangą, TaC dangą, stiklinę anglį, gamyba ir pardavimas. danga, pirolizinė anglies danga ir kt., Šie produktai yra plačiai naudojami fotovoltinės, puslaidininkių, naujos energijos, metalurgijos ir kt.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių vietinių tyrimų institucijų ir sukūrė daugybę patentuotų technologijų, užtikrinančių gaminio veikimą ir kokybę, taip pat gali suteikti klientams profesionalius medžiagų sprendimus.

Maloniai kviečiame apsilankyti mūsų laboratorijoje ir gamykloje techninėms diskusijoms ir bendradarbiavimui!