Epitaksinis epitaksinis grafito statinės susceptorius
Epitaksinis epitaksinis grafito statinės susceptoriusyra specialiai sukurtas atraminis ir šildymo įrenginys, naudojamas puslaidininkiniams substratams laikyti ir šildyti gamybos procesų, tokių kaip nusodinimo ar epitaksijos, metu.
Jo struktūra paprastai yra cilindro arba šiek tiek statinės formos, paviršiuje yra kelios kišenės arba platformos plokštelėms dėti, gali būti vientisos arba tuščiavidurės, priklausomai nuo šildymo būdo.
Pagrindinės epitaksinio cilindrinio susceptoriaus funkcijos:
-Pagrindo palaikymas: saugiai laiko kelias puslaidininkines plokšteles;
-Šilumos šaltinis: šildant užtikrina aukštą temperatūrą, reikalingą augimui;
-Temperatūros tolygumas: užtikrina vienodą substratų šildymą;
-Rotacija: paprastai sukasi augimo metu, kad pagerintų temperatūrą ir dujų pasiskirstymą.
Epi grafito statinės susceptoriaus veikimo principas:
- Epitaksiniame reaktoriuje cilindrinis susceptorius įkaitinamas iki reikiamos temperatūros (paprastai 1000℃-1200℃ silicio epitaksijai);
-Statinės susceptorius sukasi, kad būtų užtikrintas vienodas temperatūros pasiskirstymas ir dujų srautas;
-Reakcijos dujos suyra aukštoje temperatūroje, suformuodamos epitaksinius sluoksnius ant pagrindo paviršiaus.
Programos:
- Pirmiausia naudojamas silicio epitaksiniam augimui
-Taip pat tinka kitų puslaidininkinių medžiagų, tokių kaip GaAs, InP ir kt., epitaksijai.
„VET Energy“ naudoja didelio grynumo grafitą su CVD-SiC danga, kad padidintų cheminį stabilumą:
VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor pranašumai:
- Aukštos temperatūros stabilumas;
- Geras šiluminis tolygumas;
-Galima apdoroti kelis substratus vienu metu, pagerinant gamybos efektyvumą;
-Chemiškai inertiška, išlaikanti aukšto grynumo augimo aplinką.
„Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd“ yra aukštųjų technologijų įmonė, kurios pagrindinis dėmesys skiriamas aukščiausios klasės pažangių medžiagų, medžiagų ir technologijų, įskaitant grafitą, silicio karbidą, keramiką, paviršiaus apdorojimą, pvz., SiC dangą, TaC dangą, stiklinę anglį, gamyba ir pardavimas. danga, pirolizinė anglies danga ir kt., Šie produktai yra plačiai naudojami fotovoltinės, puslaidininkių, naujos energijos, metalurgijos ir kt.
Mūsų techninė komanda yra iš geriausių vietinių tyrimų institucijų ir sukūrė daugybę patentuotų technologijų, užtikrinančių gaminio veikimą ir kokybę, taip pat gali suteikti klientams profesionalius medžiagų sprendimus.
Maloniai kviečiame apsilankyti mūsų laboratorijoje ir gamykloje techninėms diskusijoms ir bendradarbiavimui!
