VET 에너지는 고성능 CVD 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅 흑연 링의 연구 개발 및 생산에 주력하고 있으며, 반도체, 태양광 및 고온 산업에 핵심 소모재 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사가 독자적으로 개발한 화학 기상 증착(CVD) 기술은 정밀 공정을 통해 흑연 기판 표면에 치밀하고 균일한 탄탈륨 카바이드 코팅을 형성하여 제품의 고온 내성(3000℃ 이상), 내식성 및 내열충격성을 크게 향상시키고, 서비스 수명을 3배 이상 연장하며, 고객의 전반적인 비용을 절감합니다.
당사의 기술적 장점:
1. 고온 산화 저항성
1200℃의 공기 분위기에서 산화 중량 증가율은 ≤0.05mg/cm²/h로 일반 흑연의 산화 저항 수명의 3배 이상이며 고주파 가열-냉각 사이클 조건에 적합합니다.
2. 용융 실리콘/금속 부식에 대한 저항성
TaC 코팅은 액상 실리콘(1600℃), 용융 알루미늄/구리 등의 금속에 대해 극히 불활성이어서 금속 침투로 인한 기존 가이드 링의 구조적 파손을 방지하며, 특히 전력 반도체 및 3세대 반도체 제조에 적합합니다.
3. 초저입자 오염
CVD 공정은 99.5% 이상의 코팅 밀도와 Ra≤0.2μm의 표면 거칠기를 달성하여 소스에서 입자가 떨어져 나갈 위험을 줄이고 12인치 웨이퍼 제조의 엄격한 청결성 요구 사항을 충족합니다.
4. 정확한 사이즈 조절
CNC 정밀 가공을 채택하여 흑연 기판의 크기 허용 오차는 ±0.01mm이고, 코팅 후 전체 변형은 <±5μm로 고정밀 장비 챔버에 설치하기에 적합합니다.
| 碳化钽涂层물리特性식물리특성 물리적 특성 타크 코팅 | |
| 크기/ 밀도 | 14.3(g/cm³) |
| 比辐射率 / 비방사율 | 0.3 |
| 热膨胀系数 / 열팽창계수 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬도/ 경도(HK) | 2000 홍콩달러 |
| 电阻 / 저항 | 1×10-5 옴*cm |
| 발열결정성 / 열 안정성 | <2500℃ |
| 석재尺寸变化 / 흑연 크기 변화 | -10~-20um |
| 涂层厚도 / 코팅 두께 | ≥30um 일반적인 값(35um±10um) |
닝보 VET 에너지 테크놀로지 주식회사는 최첨단 소재의 개발과 생산에 주력하는 첨단 기술 기업입니다. 이 소재와 기술에는 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 표면 처리가 포함됩니다. 이 제품들은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등에서 널리 사용됩니다.
당사의 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로, 제품 성능과 품질을 보장하기 위해 다수의 특허 기술을 개발하였으며, 고객에게 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.
