에피택시 장비용 TaC 코팅 서셉터

간단한 설명:

VET는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다. VET의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하고 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 개선하고 주요 반응기 구성 요소의 수명을 연장할 수 있습니다. 탄탈륨 탄화물 TaC 코팅을 사용하면 모서리 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시킬 수 있으며 VET는 탄탈륨 탄화물 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.


제품 세부정보

제품 태그

TaC 코팅기판은 얇은 막으로 이루어져 있다.탄탈륨 카바이드에피텍셜 장비의 기판 표면에 적용되는 소재입니다.TaC 코팅우수한 특성이 많아 이상적인 선택이 됩니다.

TaC 코팅은 물리적 기상 증착 기술로 준비된 일종의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅으로 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

1. 높은 경도: TaC 코팅 경도가 높고 일반적으로 2500-3000HV에 도달할 수 있으며 우수한 하드 코팅입니다.

2. 내마모성 : TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.

3. 우수한 내열성 : TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.

4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 우수한 화학적 안정성을 가지며 산 및 염기와 같은 많은 화학 반응에 저항할 수 있습니다.

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碳化钽涂层물리特性식물리특성

물리적 특성 TaC 코팅

크기/ 밀도

14.3(g/cm3)

比辐射率 / 비방사율

0.3

热膨胀系数 / 열팽창계수

6.3 10-6/K

努氏硬도/ 경도(홍콩)

2000홍콩

电阻 / 저항

1×10-5 옴*cm

발열결정성 / 열안정성

<2500℃

석재尺寸变化 / 흑연 크기 변경

-10~-20um

涂层厚도 / 코팅 두께

≥20um 일반 값(35um±10um)

 

닝보 VET 에너지 기술 유한 회사는 흑연, 탄화 규소, 세라믹, 표면 처리 등을 다루는 고급 첨단 재료, 재료 및 기술의 생산 및 판매에 중점을 둔 하이테크 기업입니다. 이 제품은 광전지, 반도체, 신에너지, 야금 등 분야에서 널리 사용됩니다.

우리 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.

우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!

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