웨이퍼용 탄탈륨 카바이드 코팅 서셉터

간단한 설명:

Semicera는 고온 재료 보호 기술의 선두주자이며 흑연 기판에 안정적인 고온 보호 기능을 제공하는 CVD 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅 제품을 출시하게 된 것을 자랑스럽게 생각합니다.흑연은 내열성이 뛰어난 재료이지만, 고온에서 산화되기 쉬우며, 이는 진공로에서도 완전히 피할 수 없습니다.당사의 CVD 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 우수한 고온 성능을 유지하면서 흑연 기재의 산화를 효과적으로 방지할 수 있습니다.TaC는 또한 아르곤이나 수소와 같은 가스와의 반응에 저항할 수 있는 불활성 물질이기도 합니다.고온 응용 분야의 안정성과 신뢰성을 보장하기 위해 탄탈륨 카바이드 CVD 코팅 EPI 서셉터에 대해 자세히 알아보려면 오늘 Semicera에 문의하세요.


제품 상세 정보

제품 태그

TaC 코팅은 물리적 기상 증착 기술로 준비된 일종의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅으로 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

1. 높은 경도: TaC 코팅 경도가 높고 일반적으로 2500-3000HV에 도달할 수 있으며 우수한 하드 코팅입니다.

2. 내마모성 : TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.

3. 우수한 내열성 : TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.

4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 우수한 화학적 안정성을 가지며 산 및 염기와 같은 많은 화학 반응에 저항할 수 있습니다.

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탄탈륨 카바이드 CVD 코팅 EPI 서셉터_세미세라 (1)

碳化钽涂层물리特性식물리특성

물리적 특성 TaC 코팅

크기/ 밀도

14.3(g/cm3)

比辐射率 / 비방사율

0.3

热膨胀系数 / 열팽창계수

6.3 10-6/K

努氏硬도/ 경도(홍콩)

2000홍콩

电阻 / 저항

1×10-5 옴*cm

발열결정성 / 열안정성

<2500℃

석재尺寸变化 / 흑연 크기 변경

-10~-20um

涂层厚도 / 코팅 두께

≥20um 일반 값(35um±10um)

 

닝보 VET 에너지 기술 유한 회사는 흑연, 탄화 규소, 세라믹, 표면 처리 등을 다루는 고급 첨단 재료, 재료 및 기술의 생산 및 판매에 중점을 둔 하이테크 기업입니다.이 제품은 광전지, 반도체, 신에너지, 야금 등 분야에서 널리 사용됩니다.

우리 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.

우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!

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