반도체 실리콘 웨이퍼, SiC 코팅용 맞춤형 흑연 히터

반도체 실리콘 웨이퍼용 맞춤형 흑연 히터, SiC 코팅 추천 이미지

간단한 설명:

기술 사양	VET-M3
부피밀도(g/cm3)	≥1.85
회분 함량(PPM)	≤500
해안 경도	≥45
비저항(μ.Ω.m)	≤12
굴곡강도(Mpa)	≥40
압축강도(Mpa)	≥70
최대. 입자 크기(μm)	≤43
열팽창 계수 Mm/°C	≤4.4*10-6

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제품 세부정보

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맞춤형반도체 실리콘 웨이퍼용 흑연히터

기술 사양	VET-M3
부피밀도(g/cm3)	≥1.85
회분 함량(PPM)	≤500
해안 경도	≥45
비저항(μ.Ω.m)	≤12
굴곡강도(Mpa)	≥40
압축강도(Mpa)	≥70
최대. 입자 크기(μm)	≤43
열팽창 계수 Mm/°C	≤4.4*10-6

반도체 실리콘 웨이퍼용 맞춤형 흑연 히터

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