반도체용 흑연 서셉터의 SiC 코팅/코팅 SiC 코팅 흑연 서셉터는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다.우리는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 탁월한 서비스 수명은 물론 높은 내화학성과 열 안정성 특성을 갖춘 탄화규소 캐리어를 만듭니다.
CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
性质 / 재산 | 典型数值 / 대표값 |
晶体结构 / 결정 구조 | FCC β 단계 多晶,主要为(111)取向 |
치수/밀도 | 3.21g/cm³ |
경도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
晶粒大小 / 곡물 크기 | 2~10μm |
정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
热容 / 열용량 | 640J·kg-1·케이-1 |
升华温도 / 승화온도 | 2700℃ |
抗弯强degree / 굴곡강도 | 415MPa RT 4점 |
杨氏模weight / 영률(Young's Modulus) | 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃ |
导热系数 / 열전도율 | 300W·m-1·케이-1 |
热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등과 같은 다양한 코팅을 갖춘 맞춤형 흑연 및 탄화 규소 제품의 실제 제조업체로 반도체 및 광전지 산업을 위한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.
우리 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.
우리는 보다 진보된 소재를 제공하기 위해 지속적으로 진보된 프로세스를 개발하고 있으며, 코팅과 기판 사이의 결합을 더 단단하게 만들고 분리 가능성을 줄일 수 있는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.
우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!