SiC 코팅/코팅 흑연 기판/반도체용 트레이

간단한 설명:

에피택셜 성장용 VET Energy SiC 코팅 흑연 서셉터는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다.매우 우수한 내열성과 열 균일성, 고순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션입니다.


제품 상세 정보

제품 태그

반도체용 흑연 서셉터의 SiC 코팅/코팅
 
SiC 코팅 흑연 서셉터는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다.우리는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 탁월한 서비스 수명은 물론 높은 내화학성과 열 안정성 특성을 갖춘 탄화규소 캐리어를 만듭니다.

 특징: 
· 우수한 열충격 저항
· 우수한 물리적 충격 저항
· 우수한 내화학성
· 초고순도
· 복잡한 형태의 가용성
·산화 분위기에서 사용 가능

애플리케이션:

삼

기본 흑연 재료의 일반적인 특성:

겉보기 밀도: 1.85g/cm3
전기 저항력: 11μΩm
굴곡 강도: 49MPa(500kgf/cm2)
해안 경도: 58
금연 건강 증진 협회: <5ppm
열 전도성: 116W/mK(100kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本식물리성能

CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅

性质 / 재산

典型数值 / 대표값

晶体结构 / 결정 구조

FCC β 단계 多晶,主要为(111)取向

치수/밀도

3.21g/cm³

경도 / 경도

2500 维氏硬도(500g 부하)

晶粒大小 / 곡물 크기

2~10μm

정도 / 화학적 순도

99.99995%

热容 / 열용량

640J·kg-1·케이-1

升华温도 / 승화온도

2700℃

抗弯强degree / 굴곡강도

415MPa RT 4점

杨氏模weight / 영률(Young's Modulus)

430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃

导热系数 / 열전도율

300W·m-1·케이-1

热膨胀系数 / 열팽창(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등과 같은 다양한 코팅을 갖춘 맞춤형 흑연 및 탄화 규소 제품의 실제 제조업체로 반도체 및 광전지 산업을 위한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.

우리 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.

우리는 보다 진보된 소재를 제공하기 위해 지속적으로 진보된 프로세스를 개발하고 있으며, 코팅과 기판 사이의 결합을 더 단단하게 만들고 분리 가능성을 줄일 수 있는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.

우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!

研发团队

 

生产设备

 

공사客户

 


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