액상 에피택시 LPE용 배럴 서셉터
EPI(에피택시)첨단 반도체 제조에 있어 중요한 공정입니다. 여기에는 복잡한 장치 구조를 만들기 위해 기판에 얇은 재료 층을 증착하는 작업이 포함됩니다. EPI용 SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터는 우수한 열 전도성과 고온 저항성으로 인해 EPI 반응기의 서셉터로 일반적으로 사용됩니다. 와 함께CVD-SiC 코팅, 오염, 침식 및 열충격에 대한 저항력이 더욱 높아집니다. 이로 인해 서셉터의 수명이 길어지고 필름 품질이 향상됩니다.
액상 에피택시 LPE용 배럴 서셉터의 장점:
오염 감소:SiC의 불활성 특성은 불순물이 서셉터 표면에 달라붙는 것을 방지하여 증착된 필름이 오염될 위험을 줄여줍니다.
침식 저항 증가:SiC는 기존 흑연보다 침식에 대한 저항력이 훨씬 뛰어나 서셉터의 수명이 길어집니다.
향상된 열 안정성:SiC는 열전도율이 뛰어나고 큰 변형 없이 고온을 견딜 수 있습니다.
향상된 필름 품질:향상된 열 안정성과 감소된 오염으로 인해 균일성과 두께 제어가 향상된 고품질 증착 필름이 생성됩니다.
닝보 VET 에너지 기술 유한 회사는 흑연, 탄화 규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소와 같은 표면 처리를 포함한 고급 첨단 재료, 재료 및 기술의 생산 및 판매에 중점을 둔 하이테크 기업입니다. 코팅, 열분해 탄소 코팅 등이 제품은 광전지, 반도체, 신 에너지, 야금 등에 널리 사용됩니다.
우리의 기술 팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 제품 성능과 품질을 보장하기 위해 여러 특허 기술을 개발했으며 고객에게 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수도 있습니다.
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