SiC 코팅

VET ENERGY, 중국 CVD SIC 코팅 선두업체

재료는 미래를 변화시킵니다

탄화규소(SiC)는 새로운 화합물 반도체 소재다. 탄화규소는 큰 밴드 갭(실리콘의 약 3배), 높은 임계 전계 강도(실리콘의 약 10배), 높은 열 전도성(실리콘의 약 3배)을 가지고 있습니다. 중요한 차세대 반도체 소재입니다. SiC 코팅은 반도체 산업과 태양광 발전에 널리 사용됩니다. 특히 LED의 에피택셜 성장과 Si 단결정 에피택시에 사용되는 서셉터에는 SiC 코팅이 필요합니다. 조명 및 디스플레이 산업에서 LED의 강한 상승세와 반도체 산업의 활발한 발전으로 인해,SiC 코팅 제품전망은 매우 좋습니다.

적용분야

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제품 적용 및 성능                                                                                               제품 응용 및 용도

Si 단결정 산업, GaN, AlN, 사파이어 및 기타 MOCVD 받침대. -단결정 실리콘 에피택셜 성장을 위한 흑연 베이스 코팅

주요성능 : 고순도, 내식성, 고열전도도, MOCVD 공정, GaN 에피택시 성장용 흑연 베이스 코팅

고온 저항, 낮은 열팽창 계수.

 

반도체 산업
반도체 산업
반도체 산업
태양광 발전

 

열전도율 250W/m°K 레이저 플래시 방식, RT
열팽창(CTE) 4.5x10-6°K 실온 ~ 950°C, 실리카 팽창계
       재산 방법
밀도 3.21g/cc 싱크 플로트 및 치수
비열 0.66J/g°K 펄스 레이저 플래시
굴곡강도 450MPa560MPa 4포인트 벤드, RT4 포인트 벤드, 1300°
파괴인성 2.94MPa·m1/2 미세압입
경도 2800 비커스, 500g 로드
탄성률Young's Modulus 450GPa430GPa 4포인트 벤드, RT4포인트 벤드, 1300°C
입자 크기 2~10μm SEM

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순도, SEM 구조, 두께 분석SiC 코팅

CVD를 사용하여 흑연에 SiC 코팅을 코팅하는 순도는 99.9995%에 달합니다. 그 구조는 fcc입니다. 흑연에 코팅된 SiC 필름은 XRD 데이터(그림 1)에서 볼 수 있듯이 (111) 방향으로 되어 있어 높은 결정 품질을 나타냅니다. SiC 필름의 두께는 그림 2와 같이 매우 균일합니다.

CVD SiC 박막의 SEM 데이터, 결정 크기는 2~1 Opm

그림 2

그림 2: SiC 필름의 두께 균일성

CVD SiC 필름의 결정 구조는 면심 입방체 구조로 필름 성장 방향이 100%에 가깝습니다.

그림 1

흑연 베타SiC 필름의 SEM 및 XRD

그림 1

단결정 실리콘 에피택셜 베이스

제품 성능 및 응용 전망.

실리콘 카바이드(SiC) 코팅베이스는 에피택시로의 핵심 부품인 단결정 실리콘과 GaN 에피택시에 가장 적합한 베이스입니다. 베이스는 대형 집적 회로용 단결정 실리콘의 핵심 생산 액세서리입니다. 그것은 고순도, 고온 저항, 내식성, 좋은 기밀성 및 기타 우수한 재료 특성을 가지고 있습니다.

제품 적용 및 사용

단결정 실리콘 에피택셜 성장을 위한 흑연 베이스 코팅Aixtron 기계 등에 적합합니다. 코팅 두께: 90~150um웨이퍼 크레이터의 직경은 55mm입니다.

태양광 발전

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흑연 도가니 코팅스트레이트 풀 방식에 의한 단결정 실리콘의 경우

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스트레이트 풀 방식에 의한 단결정 실리콘 산업 생산,세잎 도가니고온 베어링 및 균일한 열 전도 부품, 배기 가스 순환 채널 열 전도 부품, 배기 가스 순환 채널 흐름 튜브
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제품 특징
고온 저항, 내식성, 긴 수명은 웨이퍼의 품질과 출력을 향상시킬 수 있습니다. 열팽창 계수가 매우 낮고 내열성이 높으며 내마모성이 높으며 절연성이 우수하고 화학적 안정성이 우수하며 외부 가시광선 투과율이 보라색(빨간색)에 가깝습니다.
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포장 세부사항

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그림 5

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd는 특히 새로운 반도체 재료 개발과 SiC 코팅 연구 개발에 중점을 둔 흑연 부품 전문 제조업체입니다. 회사의 주요 제품은 LED 산업용 및 단결정 실리콘 산업용 SiC 코팅 서셉터입니다. LED 산업 및 단결정 실리콘 산업에 사용되는 SiC 필름은 큐빅상(cubic Phase)으로 다이아몬드와 동일한 격자 구조를 갖고 있으며 경도는 다이아몬드 수준입니다. 실리콘 카바이드는 가장 성숙한 와이드 밴드 갭 반도체 재료이며 반도체 산업에서 광범위한 응용 전망을 가지고 있습니다. 또한, 탄화규소는 열전도율이 높고, 열팽창 계수가 작으며, 내열성이 높고(섭씨 약 2700도) 내식성이 우수합니다. 이 회사의 탄화규소 코팅 제품은 항공우주, 광전지 산업, 원자력 에너지, 고속철도, 자동차 및 기타 산업에서도 널리 사용됩니다.

자주 묻는 질문

최소 주문 수량이 있나요?

예, 모든 해외 주문에는 지속적인 최소 주문 수량이 필요합니다.

관련 서류를 제공해 주실 수 있나요?

예, 우리는 분석 인증서/적합성을 포함한 대부분의 문서를 제공할 수 있습니다. 보험; 필요한 경우 원산지 및 기타 수출 서류.

평균 리드타임은 얼마나 됩니까?

샘플의 경우 리드타임은 약 7일입니다. 대량 생산의 경우, 리드타임은 보증금 지불을 받은 후 15-25일입니다. 리드타임은 당사가 귀하의 보증금을 수령하고 귀하의 제품에 대한 최종 승인을 받은 시점부터 적용됩니다. 모든 경우에 우리는 귀하의 요구를 수용하도록 노력할 것입니다. 대부분의 경우 그렇게 할 수 있습니다.

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우리는 재료와 기술을 보증합니다. 우리의 약속은 우리 제품에 대한 귀하의 만족입니다. 보증 여부에 관계없이 모든 고객 문제를 모두가 만족할 수 있도록 해결하고 해결하는 것이 우리 회사의 문화입니다.

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