적용분야
제품 적용 및 성능 제품 응용 및 용도
Si 단결정 산업, GaN, AlN, 사파이어 및 기타 MOCVD 받침대. -단결정 실리콘 에피택셜 성장을 위한 흑연 베이스 코팅
주요성능 : 고순도, 내식성, 고열전도도, MOCVD 공정, GaN 에피택시 성장용 흑연 베이스 코팅
고온 저항, 낮은 열팽창 계수.
열전도율 | 250W/m°K | 레이저 플래시 방식, RT |
열팽창(CTE) | 4.5x10-6°K | 실온 ~ 950°C, 실리카 팽창계 |
재산 | 값 | 방법 |
밀도 | 3.21g/cc | 싱크 플로트 및 치수 |
비열 | 0.66J/g°K | 펄스 레이저 플래시 |
굴곡강도 | 450MPa560MPa | 4포인트 벤드, RT4 포인트 벤드, 1300° |
파괴인성 | 2.94MPa·m1/2 | 미세압입 |
경도 | 2800 | 비커스, 500g 로드 |
탄성률Young's Modulus | 450GPa430GPa | 4포인트 벤드, RT4포인트 벤드, 1300°C |
입자 크기 | 2~10μm | SEM |
순도, SEM 구조, 두께 분석SiC 코팅
CVD를 사용하여 흑연에 SiC 코팅을 코팅하는 순도는 99.9995%에 달합니다. 그 구조는 fcc입니다. 흑연에 코팅된 SiC 필름은 XRD 데이터(그림 1)에서 볼 수 있듯이 (111) 방향으로 되어 있어 높은 결정 품질을 나타냅니다. SiC 필름의 두께는 그림 2와 같이 매우 균일합니다.
단결정 실리콘 에피택셜 베이스
제품 성능 및 응용 전망.
실리콘 카바이드(SiC) 코팅베이스는 에피택시로의 핵심 부품인 단결정 실리콘과 GaN 에피택시에 가장 적합한 베이스입니다. 베이스는 대형 집적 회로용 단결정 실리콘의 핵심 생산 액세서리입니다. 그것은 고순도, 고온 저항, 내식성, 좋은 기밀성 및 기타 우수한 재료 특성을 가지고 있습니다.
제품 적용 및 사용
단결정 실리콘 에피택셜 성장을 위한 흑연 베이스 코팅Aixtron 기계 등에 적합합니다. 코팅 두께: 90~150um웨이퍼 크레이터의 직경은 55mm입니다.
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포장 세부사항
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