SiC 코팅

VET ENERGY, 중국 최고의 CVD SIC 코팅 제조업체

재료는 미래를 변화시킵니다

탄화규소(SiC)는 새로운 화합물 반도체 소재이다.탄화규소는 큰 밴드 갭(실리콘의 약 3배), 높은 임계 전계 강도(실리콘의 약 10배), 높은 열 전도성(실리콘의 약 3배)을 가지고 있습니다.중요한 차세대 반도체 소재입니다.SiC 코팅은 반도체 산업과 태양광 발전에 널리 사용됩니다.특히 LED의 에피택셜 성장과 Si 단결정 에피택시에 사용되는 서셉터에는 SiC 코팅이 필요합니다.조명 및 디스플레이 산업에서 LED의 강한 상승세와 반도체 산업의 활발한 발전으로 인해,SiC 코팅 제품전망은 매우 좋습니다.

적용분야

그림 8그림 7

제품 적용 및 성능                                                                                               제품 응용 및 용도

Si 단결정 산업, GaN, AlN, 사파이어 및 기타 MOCVD 받침대.-단결정 실리콘 에피택셜 성장을 위한 흑연 베이스 코팅

주요성능 : 고순도, 내식성, 고열전도도, MOCVD 공정, GaN 에피택시 성장용 흑연 베이스 코팅

고온 저항, 낮은 열팽창 계수.

 

반도체 산업
반도체 산업
반도체 산업
태양광 발전

 

열 전도성 250W/m°K 레이저 플래시 방식, RT
열팽창(CTE) 4.5x10-6°K 실온 ~ 950°C, 실리카 팽창계
       재산 방법
밀도 3.21g/cc 싱크 플로트 및 치수
비열 0.66J/g°K 펄스 레이저 플래시
굴곡강도 450MPa560MPa 4포인트 벤드, RT4 포인트 벤드, 1300°
파괴인성 2.94MPa·m1/2 미세압입
경도 2800 비커스, 500g 로드
탄성률Young's Modulus 450GPa430GPa 4포인트 벤드, RT4포인트 벤드, 1300°C
입자 크기 2~10μm SEM

사진 13

 

순도, SEM 구조, 두께 분석SiC 코팅

CVD를 사용하여 흑연에 SiC 코팅을 코팅하는 순도는 99.9995%에 달합니다.그 구조는 fcc입니다.흑연에 코팅된 SiC 필름은 XRD 데이터(그림 1)에서 볼 수 있듯이 (111) 방향으로 되어 있어 높은 결정 품질을 나타냅니다.SiC 필름의 두께는 그림 2와 같이 매우 균일합니다.

CVD SiC 박막의 SEM 데이터, 결정 크기는 2~1 Opm

그림 2

그림 2: SiC 필름의 두께 균일성

CVD SiC 필름의 결정 구조는 면심 입방체 구조로 필름 성장 방향이 100%에 가깝습니다.

그림 1

흑연 베타SiC 필름의 SEM 및 XRD

그림 1

단결정 실리콘 에피택셜 베이스

제품 성능 및 응용 전망.

실리콘 카바이드(SiC) 코팅베이스는 에피택시로의 핵심 부품인 단결정 실리콘과 GaN 에피택시에 가장 적합한 베이스입니다.베이스는 대형 집적 회로용 단결정 실리콘의 핵심 생산 액세서리입니다.그것은 고순도, 고온 저항, 내식성, 우수한 기밀성 및 기타 우수한 재료 특성을 가지고 있습니다.

제품 적용 및 사용

단결정 실리콘 에피택셜 성장을 위한 흑연 베이스 코팅 Aixtron 기계 등에 적합합니다. 코팅 두께: 90~150um웨이퍼 크레이터의 직경은 55mm입니다.

태양광 발전

GAupidpelitcubaetiaonnd

흑연 도가니 코팅스트레이트 풀 방식에 의한 단결정 실리콘의 경우

사진 15

스트레이트 풀 방식에 의한 단결정 실리콘 산업 생산,세잎 도가니고온 베어링 및 균일한 열 전도 부품, 배기 가스 순환 채널 열 전도 부품, 배기 가스 순환 채널 흐름 튜브
그림 16사진 17
제품 특징
고온 저항, 내식성, 긴 수명은 웨이퍼의 품질과 출력을 향상시킬 수 있습니다.열팽창 계수가 매우 낮고 내열성이 높으며 내마모성이 높으며 절연성이 우수하고 화학적 안정성이 우수하며 외부 가시광선 투과율이 보라색(빨간색)에 가깝습니다.
          사진 20 사진 19 그림 18

왜 우리를 선택 했습니까

전문 장비 및 팀

클래스 1000 먼지 없는 작업장

*3000평방미터 이상의 1000등급 먼지 없는 작업장

*중국과학원 협력연구개발팀

*전문 생산 및 정밀 시험 장비

*충분하고 고품질의 생산 능력86b0afaa78106ff600d26e97300491b

3132

3034

퀵 서비스

주문 전 단계의 경우 당사 전문 영업팀이 근무 시간 중 50~100분 이내, 마감 시간 중 12시간 이내에 귀하의 문의에 응답할 수 있습니다.신속하고 전문적인 답변은 완벽한 옵션과 높은 효율성으로 고객을 확보하는 데 도움이 됩니다.

주문 실행 단계의 경우 당사의 전문 서비스 팀은 생산에 대한 직접적인 정보 업데이트를 위해 3~5일마다 사진을 촬영하고 배송 진행 상황을 업데이트하기 위해 36시간 이내에 문서를 제공합니다.우리는 판매 후 서비스에 높은 관심을 기울입니다.

판매 후 단계에서 당사 서비스 팀은 항상 귀하와 긴밀한 연락을 유지하고 항상 귀하의 서비스를 대기합니다.당사의 전문 애프터 서비스에는 엔지니어가 현장에서 문제를 해결하는 데 도움을 주는 것도 포함됩니다.당사의 보증 기간은 배송 후 12개월입니다.

포장 세부사항

ae1aab73834b4523bdce18357735486

그림 5

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd는 특히 새로운 반도체 재료 개발과 SiC 코팅 연구 개발에 중점을 둔 흑연 부품 전문 제조업체입니다.회사의 주요 제품은 LED 산업용 및 단결정 실리콘 산업용 SiC 코팅 서셉터입니다.LED 산업 및 단결정 실리콘 산업에 사용되는 SiC 필름은 큐빅상(cubic Phase)으로 다이아몬드와 동일한 격자 구조를 갖고 있으며 경도는 다이아몬드 수준입니다.실리콘 카바이드는 가장 성숙한 와이드 밴드 갭 반도체 재료이며 반도체 산업에서 광범위한 응용 전망을 가지고 있습니다.또한, 탄화규소는 열전도율이 높고, 열팽창 계수가 작으며, 내열성이 높고(섭씨 약 2700도) 내식성이 우수합니다.이 회사의 탄화규소 코팅 제품은 항공우주, 광전지 산업, 원자력 에너지, 고속철도, 자동차 및 기타 산업에서도 널리 사용됩니다.

자주 묻는 질문

최소 주문 수량이 있나요?

예, 모든 해외 주문에는 지속적인 최소 주문 수량이 필요합니다.

관련 서류를 제공해 주실 수 있나요?

예, 우리는 분석 인증서/적합성을 포함한 대부분의 문서를 제공할 수 있습니다.보험;필요한 경우 원산지 및 기타 수출 서류.

평균 리드타임은 얼마나 됩니까?

샘플의 경우 리드타임은 약 7일입니다.대량 생산의 경우, 리드타임은 보증금 지불을 받은 후 15-25일입니다.리드타임은 당사가 귀하의 보증금을 수령하고 귀하의 제품에 대한 최종 승인을 받은 시점부터 적용됩니다.모든 경우에 우리는 귀하의 요구를 수용하도록 노력할 것입니다.대부분의 경우 그렇게 할 수 있습니다.

어떤 종류의 결제 방법을 사용할 수 있나요?

당사 은행 계좌, Western Union 또는 PayPal로 결제하실 수 있습니다.
사전에 30% 보증금, 선적 전 잔액 또는 B/L 사본에 대해 70%.

제품 보증은 무엇입니까?

우리는 재료와 기술을 보증합니다.우리의 약속은 우리 제품에 대한 귀하의 만족입니다.보증 여부에 관계없이 모든 고객 문제를 모두가 만족할 수 있도록 해결하고 해결하는 것이 우리 회사의 문화입니다.

안전한 제품 배송을 보장하시나요?

예, 우리는 항상 고품질 수출 포장을 사용합니다.또한 위험물에는 특수 위험 포장을 사용하고 온도에 민감한 품목에는 검증된 냉장 보관 발송업체를 사용합니다.전문 포장 및 비표준 포장 요구 사항에 따라 추가 비용이 발생할 수 있습니다.

배송비는 어떻습니까?

배송비는 귀하가 상품을 받기 위해 선택한 방법에 따라 다릅니다.Express는 일반적으로 가장 빠르지만 비용이 가장 많이 드는 방법입니다.해상 운송은 대량 운송에 가장 적합한 솔루션입니다.정확한 운임은 수량, 무게, 운송 방법을 아는 경우에만 알려드릴 수 있습니다.자세한 내용은 당사에 문의하십시오.

문의하기

전화&Wechat&Whatsapp:+86 18069220752Contact email: sales001@china-vet.com 


WhatsApp 온라인 채팅!