ವೆಟ್-ಚೀನಾ ಪ್ರತಿ ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವಂತೆ ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆ ಹೊಂದಿದೆ. ಈ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಅದರ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ತುಕ್ಕು ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸುಧಾರಿತ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಈ ನವೀನ ವಿನ್ಯಾಸವು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಿಗೆ.
SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆ, ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆ, ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್ ಕುಲುಮೆಯಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ವಿಶೇಷವಾದ ಅಂಶವಾಗಿದೆ, ಮುಖ್ಯ ಬಳಕೆ ವೇಫರ್ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಾಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಾಮಾನ್ಯ ರಚನೆಗಳುನSiCcಆಂಟಿಲಿವರ್pಸೇರಿಸು: ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ರಚನೆಯು ಒಂದು ತುದಿಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇನ್ನೊಂದು ತುದಿಯಲ್ಲಿ ಉಚಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಮತಟ್ಟಾದ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಡಲ್ ತರಹದ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.
ಕೆಲಸ ಮಾಡುತ್ತಿದೆpತತ್ವನSiCcಆಂಟಿಲಿವರ್pಸೇರಿಸು:
ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗೆ ಮೇಲಕ್ಕೆ ಮತ್ತು ಕೆಳಕ್ಕೆ ಅಥವಾ ಹಿಂದಕ್ಕೆ ಮತ್ತು ಮುಂದಕ್ಕೆ ಚಲಿಸಬಹುದು, ಲೋಡಿಂಗ್ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಂದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ ಅಥವಾ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಂದ ಹೊರಕ್ಕೆ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಸರಿಸಲು, ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲು ಇದನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು.
ರಿಕ್ರಿಸ್ಟಲೈಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
ಆಸ್ತಿ | ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600 ° C (ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ), 1700 ° C (ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವುದು) |
SiC ವಿಷಯ | > 99.96% |
ಉಚಿತ Si ವಿಷಯ | < 0.1% |
ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | 2.60-2.70 ಗ್ರಾಂ / ಸೆಂ3 |
ಸ್ಪಷ್ಟ ಸರಂಧ್ರತೆ | < 16% |
ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ | > 600 MPa |
ಶೀತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 80-90 MPa (20°C) |
ಬಿಸಿ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 90-100 MPa (1400°C) |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ @1200°C | 23 W/m•K |
ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 240 GPa |
ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧ | ಅತ್ಯಂತ ಒಳ್ಳೆಯದು |