ಸುಧಾರಿತSiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ವೆಟ್-ಚೀನಾದಿಂದ ರಚಿಸಲಾದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗಾಗಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಅನ್ನು SiC (ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್) ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಶಾಖದ ಪ್ರತಿರೋಧವು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ನ ವಿನ್ಯಾಸವು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಘಟನೆ ಮತ್ತು ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆ, ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆ, ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್ ಕುಲುಮೆಯಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ವಿಶೇಷವಾದ ಅಂಶವಾಗಿದೆ, ಮುಖ್ಯ ಬಳಕೆ ವೇಫರ್ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಾಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಾಮಾನ್ಯ ರಚನೆಗಳುನSiCcಆಂಟಿಲಿವರ್pಸೇರಿಸು: ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ರಚನೆಯು ಒಂದು ತುದಿಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇನ್ನೊಂದು ತುದಿಯಲ್ಲಿ ಉಚಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಮತಟ್ಟಾದ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಡಲ್ ತರಹದ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.
VET ಶಕ್ತಿಯು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಾತರಿಪಡಿಸಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮರುಸ್ಫಟಿಕೀಕರಣಗೊಂಡ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.
ರಿಕ್ರಿಸ್ಟಲೈಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
ಆಸ್ತಿ | ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600 ° C (ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ), 1700 ° C (ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವುದು) |
SiC ವಿಷಯ | > 99.96% |
ಉಚಿತ Si ವಿಷಯ | < 0.1% |
ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | 2.60-2.70 ಗ್ರಾಂ / ಸೆಂ3 |
ಸ್ಪಷ್ಟ ಸರಂಧ್ರತೆ | < 16% |
ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ | > 600ಎಂಪಿಎ |
ಶೀತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 80-90 MPa (20°C) |
ಬಿಸಿ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 90-100 MPa (1400°C) |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ @1200°C | 23W/m•K |
ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 240 GPa |
ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧ | ಅತ್ಯಂತ ಒಳ್ಳೆಯದು |
ವೇಫರ್ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್ಗಾಗಿ VET ಎನರ್ಜಿಯ ಸುಧಾರಿತ SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ನ ಅನುಕೂಲಗಳು:
-ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ: 1600 ° C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದಾಗಿದೆ;
-ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ: ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ವಾರ್ಪೇಜ್ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ;
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ: ಲೋಹದ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಕಡಿಮೆ ಅಪಾಯ;
-ರಾಸಾಯನಿಕ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯತೆ: ತುಕ್ಕು-ನಿರೋಧಕ, ವಿವಿಧ ಅನಿಲ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ;
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಗಡಸುತನ: ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ, ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ;
-ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: ಏಕರೂಪದ ವೇಫರ್ ತಾಪನದಲ್ಲಿ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.