1. ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಮೊದಲು ಸ್ವೀಕೃತಿ
1) ಯಾವಾಗPECVD ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ/ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಅನ್ನು 100 ರಿಂದ 150 ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಬಾರಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆಪರೇಟರ್ ಸಮಯಕ್ಕೆ ಲೇಪನ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಅಸಹಜ ಲೇಪನ ಇದ್ದರೆ, ಅದನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ದೃಢೀಕರಿಸಬೇಕು. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್/ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಸಾಮಾನ್ಯ ಲೇಪನ ಬಣ್ಣವು ನೀಲಿ ಬಣ್ಣದ್ದಾಗಿದೆ. ವೇಫರ್ ನೀಲಿಯಲ್ಲದ, ಬಹು ಬಣ್ಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ಬಿಲ್ಲೆಗಳ ನಡುವಿನ ಬಣ್ಣ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ದೊಡ್ಡದಾಗಿದ್ದರೆ, ಇದು ಅಸಹಜ ಲೇಪನವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅಸಹಜತೆಯ ಕಾರಣವನ್ನು ಸಮಯಕ್ಕೆ ದೃಢೀಕರಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
2) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಂತರ ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಲೇಪನದ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುತ್ತಾರೆPECVD ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ/ ಕ್ಯಾರಿಯರ್, ಅವರು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಡ್ ಪಾಯಿಂಟ್ ಅನ್ನು ಬದಲಿಸಬೇಕೇ ಎಂದು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ / ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸಲಕರಣೆ ಸಿಬ್ಬಂದಿಗೆ ಹಸ್ತಾಂತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
3) ನಂತರಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ/ವಾಹಕವು ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗಿದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಎಲ್ಲಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಅದರಲ್ಲಿರುವ ತುಣುಕುಗಳನ್ನು ವಿಂಗಡಿಸಲು ಸಿಡಿಎ (ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ) ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ.ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ. ಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ನಂತರ, ಉಪಕರಣದ ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಅದನ್ನು ಆಸಿಡ್ ಟ್ಯಾಂಕ್‌ಗೆ ಎತ್ತುತ್ತಾರೆ, ಅದನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣದ HF ದ್ರಾವಣದೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
2. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಯ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ
ಮೂರು ಸುತ್ತುಗಳ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ 15-25% ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಸಿಡ್ ದ್ರಾವಣವನ್ನು ಬಳಸಲು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ 4-5 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ ಮತ್ತು ನಿಯತಕಾಲಿಕವಾಗಿ ನೆನೆಸಿ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಬಬ್ಲಿಂಗ್ ಮಾಡುವುದು, ಸುಮಾರು ಅರ್ಧ ಘಂಟೆಯ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಸೇರಿಸುವುದು; ಗಮನಿಸಿ: ಬಬ್ಲಿಂಗ್ಗಾಗಿ ಗಾಳಿಯನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಅನಿಲ ಮೂಲವಾಗಿ ಬಳಸಲು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡುವುದಿಲ್ಲ. ಉಪ್ಪಿನಕಾಯಿ ನಂತರ, ಸುಮಾರು 10 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ ಶುದ್ಧ ನೀರಿನಿಂದ ತೊಳೆಯಿರಿ ಮತ್ತು ದೋಣಿಯನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿ. ಶುಚಿಗೊಳಿಸಿದ ನಂತರ, ದಯವಿಟ್ಟು ದೋಣಿಯ ಮೇಲ್ಮೈ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕಾರ್ಡ್ ಪಾಯಿಂಟ್ ಮತ್ತು ಬೋಟ್ ಶೀಟ್ ಜಾಯಿಂಟ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ ಯಾವುದೇ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಶೇಷವಿದೆಯೇ ಎಂದು ನೋಡಲು. ನಂತರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಪ್ರಕಾರ ಒಣಗಿಸಿ.
3. ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಮುನ್ನೆಚ್ಚರಿಕೆಗಳು
ಎ) HF ಆಮ್ಲವು ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿ ವಸ್ತುವಾಗಿರುವುದರಿಂದ ಮತ್ತು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಚಂಚಲತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದರಿಂದ, ಇದು ನಿರ್ವಾಹಕರಿಗೆ ಅಪಾಯಕಾರಿಯಾಗಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಪೋಸ್ಟ್‌ನಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾಹಕರು ಸುರಕ್ಷತಾ ಮುನ್ನೆಚ್ಚರಿಕೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು ಮತ್ತು ಮೀಸಲಾದ ವ್ಯಕ್ತಿಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು.
ಬಿ) ದೋಣಿಯನ್ನು ಡಿಸ್ಅಸೆಂಬಲ್ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗವನ್ನು ಮಾತ್ರ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸೂಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಪ್ರತಿ ಸಂಪರ್ಕ ಭಾಗವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಅನೇಕ ದೇಶೀಯ ತಯಾರಕರು ಒಟ್ಟಾರೆ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ, ಇದು ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ HF ಆಮ್ಲವು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ನಾಶವಾಗುವುದರಿಂದ, ಒಟ್ಟಾರೆ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಅನುಗುಣವಾದ ಭಾಗಗಳ ಸೇವೆಯ ಜೀವನವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಡಿಸೆಂಬರ್-23-2024